谐振梁

作品数：37被引量：71H指数：5
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相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
相关作者：樊尚春邢维巍陈德勇赵立波蒋庄德更多>>
相关机构：北京航空航天大学西安交通大学东南大学中国科学院电子学研究所更多>>
相关期刊：《计算机仿真》《国外计量》《山西电子技术》《计测技术》更多>>
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硅谐振式压力传感器敏感结构设计与仿真被引量：8
《仪表技术与传感器》2017年第3期1-4,8,共5页平文 孔德义 单建华 
2014年国家青年自科基金项目(51405001);2014年安徽省青年自科基金项目(1408085QE98);中国科学院合肥物质科学研究院院长基金项目(YZJJ201504)
根据双端固支梁的谐振频率求解,以及方形膜片在压力下形变和应力的理论分析,设计了一个基于梁-膜结构硅谐振式压力传感器敏感结构的模型。对该模型进行ANSYS仿真,得到它在1个大气压下的总形变和应力分布,以及前六阶的振动模态。比较方...
关键词：谐振式压力传感器 敏感结构 谐振梁 硅膜 模态仿真 灵敏度 
一种MEMS谐振梁的热弹阻尼分析被引量：1
《仪表技术与传感器》2009年第B11期84-86,共3页周建发 杨贵玉 
热弹阻尼是高Q值微结构器件能量耗散的主要机理,文中介绍解析理论评估热弹阻尼,但此理论只适用于简单模型。对于复杂模型的分析,采用数值计算方法。文中利用有限元分析方法评估一种MEMS谐振器中由于热弹阻尼引起的能量耗散,并考虑电极...
关键词：热弹 谐振 品质因数 MEMS 
热激励硅谐振式压力传感器的研制被引量：3
《仪表技术与传感器》2004年第4期1-2,共2页高晓童 崔大付 陈德勇 王利 王蕾 
介绍了基于表面微加工工艺和多孔硅牺牲层技术,设计并制作出梁膜一体化的热激励硅谐振梁压力传感器,给出了制作的工艺过程和参数,测试了传感器在真空中开环状态下的谐振频率-压力特性及幅频特性,其灵敏度达到54 89Hz/kPa,Q值大于20000,0...
关键词：谐振梁 压力传感器 多孔硅 热激励 牺牲层 研制 
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