灵敏度

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面向MEMS谐振加速度计灵敏度提升的梯形微杠杆优化研究
《仪表技术与传感器》2025年第2期11-15,共5页赵文胜 李挺 李蓉 何江波 周吴 
国家自然科学基金(52205604,52075082);四川省自然科学基金(2022NSFSC2013);教育部春晖计划合作科研项目(182559)。
灵敏度影响微机电系统(MEMS)谐振加速度计精度。针对传统矩形微杠杆宽度较大会导致灵敏度损失的问题,提出并优化了一种梯形微杠杆。首先介绍了带有梯形微杠杆的MEMS谐振加速度计的工作原理和结构特点。再以灵敏度为目标函数,基于有限元...
关键词：微机电系统 谐振加速度计 梯形微杠杆 灵敏度 结构优化 
一种EIT触觉传感器的灵敏度强度校正方法
《仪表技术与传感器》2025年第1期7-13,19,共8页王江南 葛泉波 
江苏高校“青蓝工程”项目(R2023Q07);国家自然科学基金项目(62033010);国家自然科学基金国际合作重点项目(62120106005);中国博士后科学基金项目(2022M711825)。
为解决电阻抗层析成像(EIT)技术中存在灵敏度分布不均匀(位置依赖性)的问题,提出了一种灵敏度强度校正方法。利用伪阵列方法将刚性传感器区域划分为4部分,从有限元模型中提取其中的“L”型区域并根据对称性构建缩放矩阵。同时在刚性传...
关键词：电阻抗层析成像 位置依赖性 强度校正 柔性触觉传感器 
拉锥光纤表面等离激元共振高性能传感器
《仪表技术与传感器》2024年第10期7-11,共5页朱海涛 王闯 余柯涵 
Au和Ag常用于激发表面等离激元共振(SPR)。Ag的欧姆损耗低于Au,损耗谱线更窄,但Ag容易被氧化。而TiO_(2)具有化学稳定性和可调性等优势。因此,为了做出性能优异且稳定的传感器,提出了一种基于Ag/TiO_(2)的拉锥多模光纤(MMF)表面等离激...
关键词：拉锥光纤 表面等离激元共振 高灵敏度 高质量指数 
基于宏观和微观分形几何的气敏传感器
《仪表技术与传感器》2024年第9期5-12,共8页蒋安炎 王瑞雪 王微 蒋茂刚 吴志远 张文理 
重庆市教委科学技术研究项目(KJQN202301120);国家自然科学基金青年项目(622051510)。
灵敏度和检测下限是气体传感器的关键性能指标。文中基于分形几何设计传感器宏微观结构提升灵敏度和检测下限指标。在宏观结构上,基于Koch雪花柱和Menger海绵设计传感器基底结构,利用分形基底增加有效接触面积以提高气敏性能。在微观结...
关键词：气体传感器 分形薄膜 灵敏度 检测下限 分形维数 分形几何 
环形感应电极对静电传感器灵敏度的影响分析
《仪表技术与传感器》2024年第2期19-22,64,共5页翁杰琛 王琦 沈德魁 
为提高静电互相关流速测量传感器的灵敏度,研究了环形感应电极对传感器灵敏度的影响。通过COMSOL仿真软件建立传感器模型进行仿真,得到电极的宽度对静电传感器灵敏度分布特性的影响,基于仿真结果搭建自由落体实验台确定电极最佳宽度。...
关键词：环状感应电极 静电传感器 灵敏度 方差分析 
基于微平面线圈构建的位移量磁调制技术研究
《仪表技术与传感器》2023年第10期121-126,共6页党永迪 刘昌荣 徐大诚 
在微系统中,利用惯性原理测量位移信号常用的方法是基于磁通聚集技术,即采用TMR传感器将位移信号的变化转换成磁场的变化进行测量。针对该方法,以位移磁调制模型为研究对象,以微平面线圈为磁场源,从理论方面深入研究磁感应强度与微平面...
关键词：TMR传感器 微平面线圈 磁通聚集器 磁噪声 位移磁调制 高灵敏度 
一种MEMS电场传感器宽频带电场检测方法
《仪表技术与传感器》2023年第7期1-7,共7页张洲威 夏善红 彭春荣 郑凤杰 刘俊 刘向明 高雅浩 彭思敏 邢学斌 
国家自然科学基金项目(61971398,62031025);国家重点研发计划资助项目(2021YFB2011700);中国科学院科研仪器设备研制项目(YJKYYQ20200026,GJJSTD20210004)。
基于MEMS(微电子机械系统)技术的微型电场传感器凭借其体积小、功耗低、可批量化制造等优点,在诸多领域得到广泛应用。MEMS电场传感器可用于静电场与交流电场检测,但目前存在电场检测频率范围较窄、测量不同频率电场灵敏度不一致的问题...
关键词：电场传感器 交/直流电场检测 宽频带 灵敏度 
压敏电阻工艺误差的影响分析被引量：1
《仪表技术与传感器》2023年第7期8-11,16,共5页王婧 雷程 梁庭 冀鹏飞 刘润鹏 
山西省重点研发计划项目(202102030201001,202102030201009)。
为了解决由于压敏电阻工艺过程中的工艺误差导致压力传感器输出灵敏度和输出量程产生偏差的问题,通过定位压敏芯片在工艺过程中产生误差的工艺步骤,分析相关步骤的误差对器件性能的影响。利用共聚焦显微镜、扫描电子显微镜等设备对欧姆...
关键词：压力传感器 压敏电阻 MEMS 工艺误差 灵敏度 
宽范围高灵敏度的碳基柔性电容传感性能
《仪表技术与传感器》2023年第6期1-7,共7页严少秋 林远长 唐颖 毕港平 肖博文 何国田 
重庆市在渝高校与中科院所属院所合作项目(HZ2021011)。
为了改善柔性电容式传感器灵敏度与测量范围的问题,提出了一种易制备、无微结构的制备方法。以硅橡胶为柔性基底,碳纳米管和石墨烯为导电填料,采用机械共混和热固化工艺制备了柔性碳基介电层,选用铜箔作为传感器上下电极。研究分析了碳...
关键词：柔性电容传感器 碳纳米管 石墨烯 机械共混 热固化 高灵敏度 
基于CSIW加载开口圆环的增强型微流传感器
《仪表技术与传感器》2023年第2期17-21,共5页段俊萍 赵文强 武鑫磊 陆畅 张斌珍 
国家自然科学基金(52175555)。
针对微流传感器小型化、高灵敏度的性能要求,利用微扰理论,提出了一种基于圆形基片集成波导(CSIW)加载开口圆环的增强型微流传感器。传感器加载开口圆环后,工作频率从3 GHz降到1.6 GHz,相对频率偏移量增加54%。建立了传感器的等效电路...
关键词：微扰理论 圆形基片集成波导 微流传感器 小型化 高灵敏度 
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