脉冲偏压

作品数：113被引量：371H指数：10
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相关领域：金属学及工艺一般工业技术更多>>
相关作者：林国强董闯闻立时黄美东赵彦辉更多>>
相关机构：大连理工大学中国科学院金属研究所哈尔滨工业大学东华大学更多>>
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脉冲偏压占空比对TiCrN薄膜微观结构和性能的影响规律被引量：1
《中国表面工程》2023年第6期57-67,共11页魏永强 顾艳阳 范梦圆 杨佳乐 张华森 张晓晓 钟素娟 廖志谦 
国家自然科学基金(51401182);中国国家留学基金(CSC202108410274);河南省科技攻关计划(222102220066);河南省高层次人才国际化培养和郑州航空工业管理学院科研团队(23ZHTD01010)资助项目。
随着先进制造领域对高速钢材料切削性能和加工性能的要求越来越高,迫切需要利用氮化物薄膜来提高基体材料的硬度和耐磨性等综合性能,延长高速钢材料的使用寿命。通过TiCrN薄膜提升高速钢材料的使役性能,研究脉冲偏压占空比对TiCrN薄膜...
关键词：电弧离子镀 脉冲偏压占空比 TiCrN薄膜 纳米硬度 耐蚀性 摩擦因数 
脉冲偏压对316L不锈钢表面类金刚石薄膜腐蚀行为影响被引量：3
《中国表面工程》2022年第5期272-278,共7页陈东旭 郭阳阳 祁继隆 周艳文 
国家自然科学基金(51972155);辽宁省教育厅基金(LJKZ0286)资助项目
为了提高不锈钢的耐局部腐蚀性能,采用等离子体增强化学气相沉积(Plasma-enhanced chemical vapor deposition,PECVD)技术,在316L不锈钢表面制备含氢类金刚石(Diamond-like carbon,DLC)薄膜,研究不同脉冲偏压对薄膜的杂化结构及腐蚀行...
关键词：等离子体 脉冲偏压 化学气相沉积 类金刚石薄膜 腐蚀行为 
同步脉冲偏压对Hi PIMS技术低温沉积CrN涂层结构及性能影响被引量：2
《中国表面工程》2022年第3期226-234,共9页贵宾华 周晖 张腾飞 马占吉 杨拉毛草 张延帅 
甘肃省青年科技基金资助项目(20JR10RA480)。
针对高性能CrN涂层无法实现低温可控制备的技术瓶颈,利用具备高溅射材料离化率的高功率脉冲磁控溅射技术,调控同步脉冲偏压,改善涂层生长动力学条件,实现CrN涂层的低温可控沉积。开展同步脉冲偏压与涂层化学组成、组织结构、力学、摩擦...
关键词：高功率脉冲磁控溅射 同步脉冲偏压 组织结构 摩擦学性能 耐腐蚀性能 
脉冲偏压对直流磁控溅射沉积MoN薄膜结构及性能的影响被引量：5
《中国表面工程》2019年第2期54-62,共9页徐星 苏峰华 李助军 
国家自然科学基金(51775191);中央高校科研业务费(2018ZD29);广东省科技计划项目(2016A010102009)~~
MoN薄膜是一种具有潜在应用价值的薄膜材料,但对于其结构和性能的研究还较少。采用直流磁控溅射技术在304不锈钢基体表面沉积MoN薄膜,研究了脉冲偏压对MoN薄膜结构和性能的影响,并系统研究了MoN薄膜在不同摩擦条件下的摩擦磨损行为。采...
关键词：脉冲偏压 直流磁控溅射 MoN薄膜 摩擦学性能 
脉冲偏压占空比对复合离子镀TiCN涂层结构和性能的影响被引量：10
《中国表面工程》2014年第4期100-106,共7页程芳 黄美东 王萌萌 范喜迎 李云珂 刘野 
国家自然科学基金(61078059);天津师范大学学术创新推进计划(52X09038)
采用多弧离子镀和磁控溅射复合离子镀技术在高速钢基底上制备TiCN涂层,通过改变脉冲偏压占空比的大小获得了不同的涂层试样,利用台阶仪、X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、维氏硬度计等对涂层进行表征,研究占空比对TiCN涂层组织...
关键词：复合离子镀 脉冲偏压占空比 TiCN涂层 显微硬度 
工艺参数对射频磁控溅射PTFE靶形成的等离子体组成的影响被引量：1
《中国表面工程》2007年第1期35-37,共3页唐光泽 马欣新 孙明仁 
采用四极质谱仪测量了试验参数对高压脉冲增强射频磁控溅射PTFE靶等离子体气氛的影响规律。结果表明:增加脉冲偏压、脉冲频率、脉宽、射频功率和气压能提高Ar离子对PTFE靶的溅射能力,增加空间中氟碳自由基的数量,其中各参数对峰位位于25...
关键词：射频溅射 脉冲偏压 氟碳自由基 
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