对向靶溅射

作品数：21被引量：12H指数：2
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对向靶溅射α″-Fe_(16)N_2薄膜结构及其热稳定性
《天津大学学报（自然科学与工程技术版）》2001年第4期558-561,共4页许英华 姜恩永 王怡 侯登录 赵慈 
用对向靶反应溅射法制备了α″- Fe1 6 N2 薄膜 ,用 X射线衍射 (XRD)、透射电子显微镜(TEM)和振动样品磁强计 (VSM)对α″- Fe1 6 N2 的结构、磁性以及结构的热稳定性进行了分析讨论 .结果表明 ,随退火温度的升高 ,α″- Fe1 6 N2 相逐...
关键词：饱和磁化强度 对向靶溅射 Fe16N2薄膜 热稳定性 结构 
对向靶溅射α″-Fe_(16)N_(2)薄膜的结构与磁性
《河北师范大学学报（自然科学版）》2000年第4期459-461,共3页许英华 姜恩永 侯登录 
国家自然科学基金资助项目(50072015)
用对向靶反应溅射法制备了α″-Fe1 6 N2 薄膜 ,用 X射线衍射 ( XRD)和振动样品磁强计 ( VSM)对其结构、磁性进行了分析讨论 。
关键词：饱和磁化强度 对向靶溅射 Fe_(16)N_(2)薄膜 
α″- Fe_(16)N_2薄膜结构热稳定性的研究
《信息记录材料》2000年第1期9-11,共3页许英华 白海力 侯登录 王怡 姜恩永 
α″- Fe16N2的结构及其高饱和磁化强度是磁性材料研究中最有争议的问题。本文用对向靶反应溅射法制备了α″- Fe16N2薄膜 ,用 X射线衍射 (XRD)、透射电子显微镜 (TEM)和振动样品磁强计 (VSM)对其结构、磁性以及结构的热稳定性进行了分...
关键词：饱和磁化强度 对向靶溅射 Fe16N2薄膜 热稳定性 
对向靶溅射高炮和磁化强度(Fe,Ti)-N薄膜
《真空科学与技术》1998年第2期146-150,共5页姜恩永 王合英 刘明升 
国家自然科学基金;21世纪青年科学基金
本实验用对向靶溅射仪分别在Si（100），NaCl单晶衬底上成功地制备出具有高炮和磁化强度的（Fe，Ti）－N薄膜，研究了氮气分压和衬底温度对薄膜结构与磁性的影响。氮气分压为0．04～0．07Pa，衬底温度为100～150℃时，有利于Fe_(16)N_2...
关键词：对向靶溅射 薄膜 磁性 铁氮薄膜 
高饱和磁化强度Fe_(16)N_2单晶薄膜被引量：1
《科学通报》1996年第4期370-373,共4页姜恩永 林川 刘明升 王合英 张荣实 吴萍 袁红莉 孙多春 汪际 
国家自然科学基金
尽管Fe_(16)N_2的结构早已为人们所知“‘，但对其研究的巨大兴趣则始于发现其奇异的高饱和 磁化强度（Bs一258 T严之后．制备高含量比川。的研究在块体和薄膜材料方面都很活跃l’ 4］． 然而，由于它是亚稳相，迄今...
关键词：对向靶溅射 Fe16N2 饱和磁化强度 单晶 薄膜 
对向靶溅射参数对CoCr膜性质的影响及CoCr软盘的研究
《信息记录材料》1989年第2期27-30,63,共5页姜恩永 单慧波 张西祥 李金锷 
本文系统地研究了对向靶溅射参数P_Ar、I_s、T_s、V_b对CoCr膜结构和磁性的影响。结果发现较低的P_Ar和适当的V_b对提高CoCr膜C轴的取向度有利,T_s、I_s对CoCr的磁性有很大影响。在此基础上研制出了CoCr软磁盘。
关键词：溅射法 COCR 原子数 取向度 垂直磁记录 负偏压 膜结构 磁控溅射 性能测试结果 饱和磁化强度 
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