多层布线技术

作品数：15被引量：9H指数：2
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相关领域：电子电信更多>>
相关作者：王海张亚金张沈军王正义郭芳更多>>
相关机构：中华人民共和国工业和信息化部中国电子科技集团第十三研究所电子工业部石家庄铁道学院更多>>
相关期刊：《微电子技术》《半导体技术》《集成电路通讯》《混合微电子技术》更多>>
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高速多功能信号处理MCM的设计与制作被引量：2
《半导体技术》2006年第5期385-386,389,共3页张亚金 郭芳 王海 
总装备军事预研项目(41323020106)
以一款T/R组件中的实用控制电路为对象,研究了基于多层陶瓷电路基板的MC M结构设计。针对高速信号的MCM多层基板布线技术及多层陶瓷基板的制作技术,研制出具有高速电路性能的实用化MCM组件,其体积和重量大幅度减少,基板层数达到12层,最...
关键词：高速多功能 多芯片组件 多层布线技术 多层基板技术 
扫描电镜在多层布线技术中的应用
《半导体技术》1995年第2期54-57,共4页岳德全 黄宁阳 邵丙铣 宗祥福 邵建新 江锋 曹炀彬 
"国家微电子材料与元器件微分析中心"开放课题
论述了扫描电镜技术在ＶＬＳＩ多层布线技术中的应用。扫描电镜技术为层间介质膜的制备、介质膜表面平坦化及介质通孔的干法腐蚀结果，提供了清晰的照片，有效地指导了多层布线的工艺研究并获得了用于ＶＬＳＩ的最佳化多层布线工艺条件。
关键词：多层布线 扫描电镜 平坦化技术 互连 
集成电路中的多层布线技术被引量：3
《半导体技术》1991年第2期17-23,共7页张沈军 
本文参考了国外近期一些有关资料,结合实际经验,对国外目前多层布线的几种方法以及今后发展趋势作了综合论述,同时对国内的多层布线技术的今后发展方向提出一些看法。
关键词：集成电路 多层布线 导电膜 电介质 
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