机械扫描

作品数：72被引量：140H指数：7
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光纤激光相控阵光束扫描技术发展被引量：1
《红外与激光工程》2023年第6期263-276,共14页殳博王 张雨秋 常洪祥 常琦 冷进勇 马鹏飞 周朴 
国家重点研发计划(2022YFB3606000)。
光纤激光相控阵扫描技术是一种通过相位调制实现光束偏转的非机械式扫描技术,在激光加工、目标跟踪、自由空间光通信以及激光雷达等领域具有广泛的应用价值。文中概述了光纤激光相控阵光束扫描技术的基本原理和发展历程,重点阐述了光学...
关键词：光纤激光相控阵 相干合成 非机械扫描 激光加工 
无机械扫描谱域光学相干层析术研究
《激光与光电子学进展》2010年第3期94-99,共6页忽满利 孙创伟 高爱华 张群喜 
陕西省教育厅专项科研计划项目(04JK238);西北大学研究生创新基金(07YJC08)资助课题
为提高光学相干层析术(OCT)系统成像速度,借助成像光谱仪,以钨灯为非相干光源,采用柱面镜聚焦,搭建了迈克耳孙干涉仪结构的无扫描装置谱域OCT系统。介绍了系统结构和工作原理,对待测样品进行了层析成像实验,分析了系统的成像特性,利用...
关键词：谱域光学层析成像 无机械扫描 线聚焦 中值滤波平均 
离子注入技术现状与发展趋势被引量：3
《电子工业专用设备》2009年第10期1-8,共8页本刊编辑部 
离子注入制程已成为器件设计的最前端工作,现在更被视为实现32nm和22nm晶体管制程的推动要素。器件漏电流、浅结面制作,器件尺寸缩小,以及急速增加成本的挑战,正在限制摩尔定律的延伸。针对32nm节点离子注入制程器件的工艺要求,介绍了...
关键词：32 nm节点器件 漏电流控制 超浅结注入 大束流低能注入 单晶片注入 机械扫描 
现代离子注入机的机械扫描技术被引量：1
《现代机械》2007年第3期69-71,共3页吴尚德 
简单介绍了典型离子注入机的组成,分析了离子注入机中扫描技术的重要性。随着集成电路工艺技术的提高,对离子注入提出更高的要求,传统的批注入已不能满足当前的工艺,从而开发出了适应当前工艺的单晶片注入的机械扫描技术。这种注入技术...
关键词：离子注入机 机械扫描 批注入 单晶片注入 平行离子柬 
束流纹波对全机械扫描离子注入机重复性的影响
《半导体技术》1998年第1期52-54,共3页陈林 
分析了束流纹波系数对全机械扫描强流离子注入机重复性的影响，并进行了定量的计算。计算结果表明，要使注入重复性达到小于或等于１％，束流纹波必须稳定在１０％以内。该结果已在ＬＣ－１１型强流离子注入机中得到了验证。
关键词：离子注入机 重复性 半导体器件 制造设备 
全机械扫描强流离子注入机重复性研究被引量：2
《微细加工技术》1997年第1期26-30,共5页陈林 杨建生 颜享迪 
对影响全机械扫描强流离子注入机剂量重复性的因素进行了分析。对束流纹波的影响建立了数学模型，计算了束流纹波对剂量重复性的影响。结果表明只要束流纹波在9％以内，剂量重复性可控制在1％以下。
关键词：强流离子注入机 全机械扫描 剂量重复性 
强流离子注入均匀性控制
《微细加工技术》1991年第1期7-13,共7页徐道林 
本文讨论了强流离子注入机的全机械扫描靶室中实现剂量高均匀性和高重复性注入的变速扫描设计原理及控制技术。
关键词：离子注入 均匀性 机械扫描 
全机械扫描,保障高均匀性—伊顿大束流离子注入机精华
《LSI制造与测试》1991年第1期27-31,共5页楚歌 
关键词：离子注入机 机械扫描 伊顿大束流 
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