各向异性刻蚀

作品数：41被引量：64H指数：4
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相关领域：电子电信更多>>
相关作者：郝一龙殷华湘徐秋霞李永亮毛海央更多>>
相关机构：中国科学院微电子研究所中芯国际集成电路制造(上海)有限公司北京大学上海华虹宏力半导体制造有限公司更多>>
相关期刊：《电子制作》《集成电路应用》《微纳电子技术》《西南大学学报（自然科学版）》更多>>
相关基金：国家自然科学基金上海市卫生系统百名跨世纪优秀学科带头人培养计划航天科技创新基金黑龙江省青年科学基金更多>>
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Pr_(6)O_(11)对合成金刚石单晶各向异性的刻蚀
《材料工程》2022年第11期173-181,共9页朱振东 肖长江 马金明 栗正新 
2022年度省教育厅重点科研项目(22B4300152)。
为了探究稀土氧化物对合成金刚石单晶的各向异性刻蚀,在氮气保护下,在750~950℃内用Pr_(6)O_(11)对合成金刚石单晶进行刻蚀。采用扫描电子显微分析、热重分析、X射线衍射和拉曼光谱等技术对刻蚀后金刚石单晶不同晶面的表面形貌、物相组...
关键词：金刚石单晶 氧化镨 各向异性刻蚀 刻蚀机理 性能 
溶胶-凝胶法制作PZT微驱动器的研究被引量：2
《材料工程》2007年第8期24-27,共4页邱成军 刘红梅 张辉军 赵全亮 孟丽娜 曹茂盛 
黑龙江省青年科学技术专项资金(QC05C12);黑龙江大学杰出青年基金(JC200504)
采用溶胶-凝胶法(Sol-gel)制备了PZT压电薄膜,利用PZT的压电效应制作以PZT薄膜为驱动的V型阀微驱动器。针对微驱动器的关键结构驱动膜,探索了Si/SiO2/Ti/Au/PZT/Cr/Au多层驱动膜结构制备方法,解决了在硅基底上制备PZT薄膜的问题,同时详...
关键词：PZT薄膜 溶胶-凝胶法 各向异性刻蚀 微驱动器 MEMS 
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