硅基微通道

作品数：11被引量：43H指数：5
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相关领域：动力工程及工程热物理电子电信更多>>
相关作者：徐进良甘云华吴慧英谭振豪闫志国更多>>
相关机构：中国科学院上海交通大学华南理工大学华北电力大学更多>>
相关期刊：《微纳电子技术》《电子测量技术》《自然科学进展》《航空动力学报》更多>>
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基于流固热耦合的硅基微通道散热器特性分析被引量：3
《中国电子科学研究院学报》2022年第9期842-847,共6页黄豪杰 钱吉裕 魏涛 
国家自然科学基金(52206214);江苏省青年科技基金(SBK2022046033)。
通过对高热流度散热条件下内嵌平行微通道和岐管式微通道结构的两层多芯片硅基微通道散热器进行仿真分析,对比两种结构的流动和传热特性差异,进而对该晶圆级键合的硅基板进行热应力耦合仿真,分析两种不同结构下各层硅基板的应力分布。...
关键词：高热流密度散热 平行微通道 岐管式微通道 流固热耦 硅基微通道 
基于紫外激光对硅基微通道刻蚀分析被引量：1
《电子测量技术》2021年第2期170-175,共6页单存良 梁庭 雷程 王文涛 刘瑞芳 李奇思 
山西省重点研发计划(201903D121123);山西省自然科学基金(201801D121157,201801D221203)项目资助。
紫外激光具有波长短、速度快、加工精度高、热影响区小以及无损加工等优点,针对紫外激光加工过程中,不同参数对刻蚀结果产生不同的影响,实验中通过控制单一变量法,设计了扫描速度、扫描次数、能量密度、重复频率、离焦量等不同参数对刻...
关键词：紫外激光器 单一变量法 刻蚀宽度 刻蚀深度 L型硅基微通道 
梯级针肋硅基微通道流动沸腾稳定性实验被引量：1
《微纳电子技术》2016年第12期807-815,共9页金武 余雄江 徐进良 
国家自然科学基金资助项目(51436004);国家自然科学基金委国际合作项目(51210011)
制作了一种微针肋疏密梯级排布的硅基微通道,通道由11个针肋区以及10个无针肋通道组成,其中微针肋是15μm×15μm的正方形立柱。进行了以丙酮为工质的流动沸腾实验研究。实验研究在下列条件下进行:入口温度为47.4~52.5℃,质量流速为154~...
关键词：微通道 梯级针肋 流动沸腾 稳定性 充满比 集中参数法 
硅基内肋阵列微通道内的流动和换热特性被引量：7
《工程热物理学报》2015年第7期1572-1577,共6页康宁 吴慧英 徐法尧 
国家自然科学基金(No.51376130;No.50925624);国家重点基础研究发展计划(No.2012CB720404);上海科委基础研究重点项目(No.12JC1405100)
制作了四种带有圆柱形内肋阵列的硅基微通道,以去离子水为工质对其内部流动和换热特性进行了实验研究,并与平直微通道进行了对比,分析了内肋阵列微通道中流动阻力提升和强化换热的机理。研究表明;内肋阵列带来较大阻力的同时也极大地改...
关键词：内肋阵列 硅基微通道 内肋布置 流动阻力 强化换热 
锯齿形硅基微通道内流动与换热特性实验被引量：8
《航空动力学报》2010年第6期1264-1270,共7页唐慧敏 吴慧英 吴信宇 
国家杰出青年科学基金(50925624);教育部新世纪优秀人才项目(NCET-06-0406);上海市教委科研创新项目(08ZZ10);上海市曙光计划跟踪项目(08GG05)
采用微机电系统(MEMS)工艺在硅片上制作锯齿形微通道,并对其内部流动和换热特性进行了实验研究,同时与相同高宽比和当量直径的平直微通道进行了对比,讨论了锯齿形硅微通道强化换热的机理.研究表明:锯齿形微通道内流动摩擦常数fRe和换热...
关键词：锯齿形 硅基微通道 对流换热 强化换热 流动阻力 
水/乙醇混合工质在硅基微通道中的流动与换热被引量：7
《化工学报》2008年第11期2706-2712,共7页魏珍 吴慧英 吴信宇 
教育部新世纪优秀人才支持计划项目(NCET-06-0406);上海市教委科研创新项目(08ZZ10)~~
以不同浓度的乙醇水溶液为工质,在5种不同几何尺寸的梯形硅基微通道中进行了层流流动与换热的实验研究。基于实验结果,分别得出了摩擦常数和平均Nusselt数的实验关联式。实验发现微通道的几何尺寸对微流体的流动与换热特性有着非常显著...
关键词：硅微通道 混合工质 流动特性 对流换热 入口效应 
硅基微通道中周期性沸腾的光学可视化被引量：4
《化工学报》2007年第7期1641-1647,共7页甘云华 徐进良 
国家自然科学基金项目(50476088);华南理工大学自然科学青年基金项目(B05E5060100)~~
以丙酮为工质,在三角形截面的硅基微通道内进行了微尺度沸腾传热实验研究。在对汽液两相流流型进行光学可视化测量的同时,对压力、温度等信号进行了同步动态测量。发现了周期在毫秒级的微时间尺度的周期性沸腾传热。1个完整的周期可以分...
关键词：微尺度传热 流型 沸腾起始点 沸腾传热系数 
复杂结构微流体芯片中的瞬态流型研究被引量：1
《工程热物理学报》2007年第2期247-250,共4页张伟 徐进良 
国家自然科学基金(No.50476088);973项目资助(No.2006CB601203)
在低质量流速和高热流密度下,对复杂结构微流体芯片中的流动沸腾进行了瞬态流型研究,发现了毫秒级微时间尺度的周期性流型和微通道中的分层流。在单个微通道区域,液膜沿流动方向逐渐增厚且蒸干总是首先发生在其上游区域,而在不同微通道...
关键词：MEMS 硅基微通道 流动沸腾 不稳定性 分层流 
水和甲醇在硅基微通道中换热特性的实验研究被引量：5
《自然科学进展》2005年第12期1498-1503,共6页甘云华 徐进良 
国家自然科学基金资助项目(批准号:50476088)
以水和甲醇为工质,在三角形硅基微通道热沉中进行了层流流动与换热的实验研究．基于实验结果,得出了摩擦常数及平均Nusselt数的实验关联式．并发现入口段效应对微流体的流动与换热的影响十分显著．在相近的工况下对采用这两种工质时的...
关键词：微电子机械系统 微尺度传热 高热流密度 微通道 
硅基微通道热交换器
《科技开发动态》2005年第4期45-45,共1页甘云华 徐进良 施慧烈 
该专利是一种用于高热流密度电子元器件散热冷却的硅基微通道热交换器。该专利提出的技术方案是：在半导体硅基片上蚀刻由多条沿冷却液流动方向的纵向微通道和在垂直于流动方向上具有一定相互间隔距离的多条横向微通道构成的微通道，所...
关键词：微通道 热交换器 流动方向 电子元器件 热流密度 间隔距离 技术方案 玻璃封装 冷却液 硅基片 半导体 专利 
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