反射率

作品数：2711被引量：8633H指数：31
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基于多面体转镜HfO_(2)薄膜的制备及性能研究
《中国激光》2024年第12期450-456,共7页陈兴凤 张伟丽 洪瑞金 李令灏 陈才 冯操 王蒙雷 王麟 王勤敏 王焜 
国家自然科学基金(62075133,62275159)。
多面体转镜是激光直写设备中激光光束扫描系统的核心部件,其光学表面的反射率和均匀性会直接影响光刻机的扫描精度。研究了沉积在转镜上的氧化铪(HfO_(2))膜层的光谱特性、微观结构、表面和截面形貌、堆积密度等特征,并与沉积在平面行...
关键词：光刻 激光直写 多面体转镜 转镜镀膜 反射率 均匀性 堆积密度 
6.X nm下一代极紫外多层膜技术研究进展
《中国激光》2024年第7期151-163,共13页李笑然 唐何涛 赵娇玲 李丰华 
国家自然科学基金(12275346);中国科学院青促会会员(2020253)。
集成电路的生产主要依靠光刻技术为主的工艺体系,采用波长为13.5 nm光源的极紫外光刻是当前最先进的商用规模量产光刻技术,为集成电路的发展带来前所未有的进步。根据瑞利判据,为进一步提高分辨率,以波长6.X nm为光源的下一代“超越极...
关键词：先进光刻 超越极紫外 多层膜 反射率 界面工程 
基于低能量紫外飞秒激光刻写的高反射率啁啾光纤光栅
《中国激光》2024年第7期250-251,共2页王森宇 李剑峰 万金龙 罗鸿禹 翁杰 
啁啾光纤光栅(CFBG)在光纤激光、光纤通信以及光纤传感等领域被广泛应用,可用于实现超快激光的啁啾脉冲放大(CPA)、通信系统中的色散补偿以及温度、应变、弯曲等参量的传感。目前,国内使用的高性能CFBG主要是由加拿大TeraXion公司生产的...
关键词：啁啾脉冲放大 啁啾光纤光栅 色散补偿 光纤传感 飞秒激光 光纤通信 超快激光 平坦度 
基于归一化的高精度EUV反射率测试技术研究
《中国激光》2024年第7期196-202,共7页张良乐 韩晓泉 谢婉露 吴晓斌 方旭晨 高梓翔 沙鹏飞 王魁波 
国家自然科学基金面上项目(62071464)。
基于使用气体放电等离子体(DPP)极紫外(EUV)光源自研的小型反射率测试装置,分析了DPP光源参数及不同型号探测器对反射率测试的影响,提出了一种能量归一化的反射率测试方法,并测试了13.5 nm波长下Mo/Si多层膜反射镜的反射率特性。研究结...
关键词：极紫外 气体放电等离子体光源 反射率 能量探测 归一化 
基于频率选择表面的太赫兹FP干涉滤光片设计被引量：1
《中国激光》2024年第2期204-211,共8页廖文焘 金尚忠 李宏光 郭宇烽 解琪 
装备发展部预先研制项目(31517050104)。
在太赫兹频段,为解决FP干涉滤光片反射率低、适用频率范围小及角度稳定性差的问题,设计了一种新的太赫兹频率选择表面结构。首先进行了仿真分析,确定了结构的硅片厚度和金属网栅层数,并对参数进行了优化。然后对该结构的传输特性和角度...
关键词：材料 太赫兹超材料 频率选择表面 FP干涉 金属网栅 高反射率 
基于分光光度法的差分信号精确测量高反镜反射率被引量：2
《中国激光》2023年第10期87-92,共6页胡晨璐 李大伟 刘晓凤 李笑玲 赵元安 邵建达 王琨 龚赫 陶春先 
国家重点研发计划(2018YFE0115900);国家自然科学基金(11874369,52002271);中国科学院国际合作局对外合作重点项目(181231KYSB20210001)。
目前,高反射率反射镜在激光陀螺和引力波探测等领域中有着广泛的应用。但对于反射率为99.9%~99.99%的样品,现有测试手段存在一定局限性。搭建了基于分光光度法的反射率测量装置,采用双光路测量方法,通过测量参考信号和基准信号、参考信...
关键词：测量 激光光学 高反射率 分光光度法 光学薄膜 锁相放大器 
飞秒激光直写高反射率中红外光纤布拉格光栅被引量：9
《中国激光》2022年第1期165-170,共6页熊贤伟 陈胜平 朱宏田 王金涛 王金章 郭春雨 闫培光 阮双琛 
国家自然科学基金(61775146,61935014,12074264);深圳市科技计划项目(JCYJ20190808160205460,CJGJZD20200617103003009)。
采用飞秒激光逐线直写法,在氟化物光纤中制备出了窄带宽、高反射率的中红外光纤光栅,其中心波长为2964.34 nm, 3 dB带宽为1.24 nm,反射率高达99.27%。该工作有利于构建"全光纤化"中红外光纤激光器,对推动国内中红外光纤激光器核心器件...
关键词：激光技术 光纤布拉格光栅 光纤激光器 中红外激光器 氟化物光纤 
基于双层格栅的超材料太赫兹宽频反射器被引量：7
《中国激光》2020年第6期321-329,共9页王建扬 吴倩楠 
国家自然科学基金(61705200);中北大学青年学术带头人项目(QX201905)。
提出一种基于超材料的由上下层格栅金属和中间层聚酰亚胺薄膜组成的太赫兹宽频反射器,可解决现有反射器遇到的反射率与反射带宽无法同时最优的问题。利用时域有限差分法对该反射器的反射性能进行研究和分析,通过优化金属层数、中间层聚...
关键词：光谱学 功能器件 太赫兹反射器 时域有限差分法 高反射率 宽频带 
多晶硅表面皮秒激光阵列孔绒面制备被引量：6
《中国激光》2018年第10期69-76,共8页贾天代 冯爱新 陈欢 刘勇 
国家自然科学基金(51505236)
为了减小多晶硅表面的反射率,采用皮秒激光在多晶硅片表面制备阵列孔绒面,分析了激光参数对制绒深度的作用机理,优选出实验参数:激光功率为15 W,脉冲频率为25 kHz,扫描速度为0.9 m/s,扫描次数为2。利用优选参数验证了制绒孔距对多晶硅...
关键词：激光技术 激光制绒 阵列孔 时域有限差分(FDTD) 多晶硅 反射率 
气流环境下激光辐照金属能量耦合特性被引量：1
《中国激光》2017年第6期31-36,共6页金云声 张黎 张永强 贺佳 谭福利 赵剑衡 孙承纬 
在马赫数为0.5气流条件下,进行了激光辐照30CrMnSiA钢材料的温度测量实验。实验结果显示,材料的温升速率和上升最高温度在有气流环境下比无气流环境下明显下降。利用数值反演方法获得了气流条件下激光加载面样品材料实际吸收热流密度变...
关键词：激光器 激光-固体相互作用 反射率 气流 数值反演 
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