压电陶瓷驱动

作品数：283被引量：1033H指数：16
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压电陶瓷驱动系统的设计与研究被引量：2
《现代电子技术》2020年第24期34-37,共4页陈姝雨 王学亮 
国家自然科学基金面上项目(61973067)。
针对光刻机投影物镜中使用压电陶瓷对像质补偿镜组进行精密定位控制的需求,设计一种压电陶瓷驱动系统,并着重对其精度性能进行了分析与研究。首先对系统进行了误差项分解,然后对各误差项进行详细的理论计算,最后将所有误差项的影响按最...
关键词：压电陶瓷 驱动系统 系统设计 误差项分解 精度分析 实验验证 
一种步进式压电陶瓷驱动器负载模型研究被引量：1
《现代电子技术》2020年第2期14-16,19,共4页王学亮 彭吉 徐立松 李朋志 陈雪 郑楠 李佩玥 
国家科技重大专项基金资助项目(2009ZX02205)
为了能够准确高效地以步进式压电陶瓷驱动器进行定位控制,文中对其在不同负载力条件下的位移性能进行了研究。首先,设计和实施了测定驱动器位移-负载力曲线的实验;然后,通过高阶多项式拟合的方法对实验结果进行拟合,分析得到可用的拟合...
关键词：压电陶瓷 步进式驱动器 定位控制 负载实验 多项式拟合 数据分析 
基于ARM的高分辨率压电陶瓷驱动电源被引量：3
《现代电子技术》2013年第14期166-170,共5页葛川 李朋志 章明朝 闫丰 
国家重大科技专项02专题资助(2009ZX02205)
根据压电陶瓷微位移器对驱动电源的需求,设计了压电驱动电源系统。详细介绍了电源系统中的数字电路部分和模拟电路部分,并对驱动电源的精度与稳定性进行了分析与改进。最后对驱动电源的性能进行了实验验证,实验结果表明:所设计的电源输...
关键词：ARM 压电陶瓷 驱动电源 PI控制器 
高速压电陶瓷驱动电源被引量：6
《现代电子技术》2009年第14期180-181,184,共3页王元生 芦志强 王雨 
为了满足压电陶瓷致动器对驱动电源动态冲击特性的要求,提出一种新型的压电陶瓷驱动电源。用高速运放OP467作为核心芯片,搭建功率放大电路及恒流源泄放电路,并给出详细的电路原理图。实验表明,在输入为方波等动态信号时,该驱动电源可以...
关键词：压电陶瓷 驱动电源 速率 动态性能 
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