压力传感器设计

作品数：57被引量：151H指数：8
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相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>
相关作者：肖素艳胡智文熊继军王东红秦建勇更多>>
相关机构：中北大学合肥工业大学中国电子科技集团公司第四十九研究所南京航空航天大学更多>>
相关期刊：《计测技术》《山东科学》《传感技术学报》《哈尔滨商业大学学报（自然科学版）》更多>>
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基于石墨烯压阻效应的宽量程MEMS压力传感器设计被引量：1
《传感器与微系统》2022年第4期66-69,共4页朱泽华 王俊强 刘小飞 齐越 武晨阳 李孟委 
国防173计划技术领域基金资助项目(2021JCJQJJ0172)。
针对传统悬浮式石墨烯压力传感器存在量程小、体积大、非线性度高等问题,设计了一种膜-岛结构的宽量程石墨烯MEMS压力传感器。使用COMSOL有限元仿真软件和噪声分析法对弹性膜片及石墨烯敏感单元尺寸进行优化设计。结果表明:在0~25 MPa范...
关键词：石墨烯 压阻效应 宽量程 微机电系统 压力传感器 
FBG可变灵敏度压力传感器设计
《传感器与微系统》2016年第6期69-71,共3页李凯 赵振刚 李英娜 蔡陈 彭庆军 李川 
云南省应用基础研究计划资助项目(2013FZ021);国家自然科学基金资助项目(KKGD201203004)
为了实现对压力的多灵敏度状态下监测,设计了一种利用光纤Bragg光栅(FBG)的可变灵敏度压力传感探头。将裸光栅固定在薄膜片中心与下部外壳之间,传感器探头表面的压力通过薄膜片传递给裸光栅,并可通过灵敏度变换阀改变膜片大小从而改变...
关键词：压力 有限元 光纤BRAGG光栅 薄膜片 可变灵敏度 
一种基于多铁压电纳米纤维压力传感器设计被引量：3
《传感器与微系统》2014年第9期94-96,100,共4页汪海涛 谭晓兰 李佳玮 
国家自然科学基金资助项目(51375017);北京市自然科学基金资助项目(3122014)
设计了一种基于静电纺丝技术制备的多铁压电纳米纤维微压力传感器结构,对其工作原理做出了理论分析。近似平行排列的纳米纤维沉积到叉指电极上,电极材料生长于硅基底方形弹性膜片上表面,用小挠度理论设计计算了方膜结构,并对固支结构的...
关键词：微压力传感器 静电纺丝 多铁压电纳米纤维 弹性膜片 
硅—蓝宝石高温大量程压力传感器设计被引量：8
《传感器与微系统》2007年第12期97-99,共3页闻化 张爱平 张枫 高成臣 姚东嫒 
介绍了一种硅-蓝宝石高温大量程压力传感器的设计，提出了采用小直径C型膜片的一体化结构，通过合理排布力敏电阻条位置，能够制作出高精度大量程压力传感器。采用该设计研制出了量程分别为60MPa和100MPa压力传感器，其工作温度范围为-5...
关键词：硅-蓝宝石 压力传感器 结构设计 
高精度无油封压力传感器设计被引量：1
《传感器与微系统》2006年第11期55-56,60,共3页崔光浩 闻化 雷钢 张爱平 
设计了一种新的传感器封装方法。该方法采用双膜片结构，无油封装。压力膜片为硅一蓝宝石材料，通过硅的压阻效应，利用下膜片实现压力传递，上膜片的惠斯登电桥将感受的压力转换为电压信号。经过温度补偿，使热漂移信号大幅度降低。试...
关键词：压力传感器 高精度 双膜片 
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