PZT厚膜

作品数：32被引量：41H指数：3
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相关领域：电子电信化学工程更多>>
相关作者：褚家如王大志许晓慧彭强祥冯艳更多>>
相关机构：中国科学技术大学大连理工大学上海交通大学中国科学院更多>>
相关期刊：《硅酸盐学报》《辐射研究与辐射工艺学报》《应用声学》《压电与声光》更多>>
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用于能量收集器的不锈钢基PZT厚膜制备研究
《压电与声光》2018年第4期604-607,611,共5页崔林 王士军 陈伟 张临松 
国家自然科学基金青年基金资助项目(51505265)
采用了溶胶-凝胶技术在不锈钢基体上制备了厚为10μm、结构致密的锆钛酸铅(PZT)厚膜。研究了不同退火条件对厚膜结晶状况的影响,X射线衍射分析表明,采用700℃退火处理20min后得到了PZT厚膜的纯钙钛矿相结构。厚膜的电学性能测试结果显示...
关键词：锆钛酸铅(PZT) 厚膜 溶胶-凝胶法 电学性能 振动能量收集器 
PZT厚膜与Si衬底互扩散阻挡层研究
《压电与声光》2013年第2期261-264,共4页陈冲 吴传贵 彭强祥 罗文博 张万里 王书安 
国家自然科学基金资助项目(51102037)
在Pt/Ti/SiO2/Si基片上,利用电泳沉积制备PZT热释电厚膜材料。为防止Pb和Si互扩散,在Pt底电极与SiO2/Si衬底间通过直流磁控溅射制备了TiOx薄膜阻挡层。对具有0、300nm和500nm TiOx阻挡层的PZT厚膜材料用SEM和能量色散谱仪(EDS)表征了Pb...
关键词：锆钛酸铅(PZT)厚膜 直流磁控溅射 TiOx 热释电性能 
PZT厚膜的制备及电性能研究
《压电与声光》2011年第6期982-985,共4页何超 陈文革 
用溶胶-凝胶法制备出锆钛酸铅(PZT)粉体,与流延胶以一定配比混合后流延成型,坯膜于1 100℃高温烧结2h得到PZT厚膜。利用XRD和SEM研究其组织结构,同时测试其相关电性能。结果表明,以10mL流延胶中加入120g PZT粉的配比进行流延较合适;得...
关键词：锆钛酸铅(PZT) 压电效应 厚膜 电性能 
MEMS压电变形镜的有限元分析与结构优化设计被引量：2
《压电与声光》2010年第2期254-257,共4页张晋弘 许晓慧 冯艳 李保庆 马剑强 褚家如 
对PZT厚膜驱动的微变形镜（DM）进行了结构优化设计。基于有限元方法（FEM），分析了结构中各个参数对变形镜性能的影响。优化结果表明，单元边长1．75mm的驱动器，在最优参数下冲程可达2～5μm@100V，且加载镜面后驱动器的位移损失小...
关键词：PZT厚膜 变形镜 优化 
PZT厚膜UCPBG结构的射频天线研究
《压电与声光》2001年第5期397-401,共5页林州 任天令 赵宏锦 刘理天 
"九七三"国家重大基金研究项目 ( 19990 3310 5 )
采用了丝网印刷工艺在硅片上制备了锆钛酸铅 (PZT)薄膜 ,进行了相应的工艺分析。设计并仿真了平面光子带隙 (UCPBG)结构 ,测试了结构的电磁参数 ,证实了结构的可行性。在此基础上提出了一种基于 PZT厚膜工艺和平面光子带隙结构的微型射...
关键词：丝网印刷 锆钛酸铅 射频天线 PZT厚膜 UCPBG结构 
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