压阻特性

作品数:90被引量:322H指数:10
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相关作者:李斌张加宏揣荣岩黄英刘晓为更多>>
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硅纳米悬臂梁传感结构压阻特性的试验研究被引量:1
《传感器与微系统》2012年第12期9-11,15,共4页张加宏 杨镇博 刘清惓 李敏 冒晓莉 
国家自然科学基金资助项目(41075026;41275042);江苏省自然科学基金资助项目(BK2012460);公益性行业(气象)科研专项资助项目(GYHY200906037);东南大学MEMS教育部重点实验室开放研究基金资助项目(2010-02)
为了研究拉伸和大形变弯曲共存状态下硅纳米悬臂梁传感结构的压阻特性,采用CMOS工艺制作了硅纳米悬臂梁传感测试结构,结合原子力显微镜和半导体参数测试仪对其电学参数进行了测量,其位移灵敏度高达1.58216×10-4/nm。在电阻相对变化率...
关键词:硅纳米悬臂梁 压阻特性 原子力显微镜 有限元 
新型智能机器人触觉传感服装阵列标定的研究被引量:4
《传感器与微系统》2011年第7期71-74,共4页秦岚 裴利强 
教育部重点科研基金资助项目(104159)
为使智能机器人在汽车冲撞试验中获得准确的触觉信息,研发了一种基于导电橡胶压阻特性的新型触觉传感服装阵列。针对该传感阵列设计了静态标定试验装置,在常温下(25℃)研究了不同型号的导电橡胶(N05,N10,N15)的压阻行为特性,选出压敏性...
关键词:导电橡胶 触觉传感服装阵列 标定 压阻特性 
磁流变弹性体压阻特性实验装置的设计与实验研究被引量:4
《传感器与微系统》2011年第3期43-45,共3页叶伟强 邓益民 王威 
浙江省教育厅学科带头人专项基金资助项目
磁流变弹性体作为一种新型的智能材料,对其压阻特性的应用研究国内外还鲜有报道。通过建立一种磁流变弹性体测试的实验装置,对实验室制备的磁流变弹性体的压阻特性进行了不同情况下的实验研究。结果表明:磁流变弹性体的电导率对压力变...
关键词:磁流变弹性体 压阻特性 电导率 灵敏度 线性 
一种新型柔性触觉阵列传感器信号处理电路设计被引量:6
《传感器与微系统》2009年第9期75-78,共4页董万成 黄英 明小慧 向蓓 
国家自然科学基金资助项目(60672024);国家"863"计划资助项目(2007AA04Z220)
依据一种利用压阻特性的3×3点阵的柔性触觉传感器,设计了针对这种新型柔性触觉传感器的信号处理电路。该电路能完成信号放大、阵列信号的选通、A/D转换以及通过LED电路对其信号的采集。并详细地阐述了电路的原理和所用芯片的功能。所...
关键词:信号处理 压阻特性 阵列 触觉传感器 
多晶硅薄膜制备方法与压阻特性的研究被引量:1
《传感器与微系统》2007年第4期18-20,共3页刘晓为 宋明浩 王喜莲 潘慧艳 揣容岩 
对磁控溅射和低压化学气相淀积(LPCVD)2种方法制备的多晶硅薄膜的电学和压阻特性进行了研究,并讨论了结晶化工艺对磁控溅射薄膜性质的影响。实验表明:LPCVD薄膜稳定性、重复性较好,应变系数可达到20以上;磁控溅射薄膜经适当结晶化工艺...
关键词:磁控溅射 低压化学气相淀积 多晶硅薄膜 应变系数 压阻特性 
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