亚半微米

作品数：11被引量：14H指数：2
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亚半微米光刻投影物镜温度补偿控制及算法研究被引量：2
《微细加工技术》1999年第2期71-78,共8页张津 姚汉民 陈旭南 唐小平 
主要介绍一种光刻机投影物镜温度补偿控制的原理及控制算法。根据系统结构、对象特性和过程指标要求，采用了一种智能型线性－模糊控制器，获得了优良的动态和稳态性能。
关键词：投影物镜 温度补偿 光刻 大规模集成电路 
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