TA2O5

作品数:135被引量:377H指数:10
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氧气氛退火对磁控溅射Ta_2O_5薄膜结构、表面形貌及电学性能的影响被引量:3
《北方工业大学学报》2007年第3期58-61,共4页马志伟 米仪琳 张铭 王波 严辉 
本文采用磁控溅射在Si基体上制备Ta2O5薄膜,研究了退火前、500℃氧气氛退火半小时之后、800℃氧气氛退火半小时之后的Ta2O5薄膜的结构、表面形貌及电学性能.退火前和500℃退火的薄膜均为非晶薄膜,但500℃退火之后能使非晶薄膜结构更加致...
关键词:磁控溅射 TA2O5 结构 表面形貌 电学性能 退火 
激光烧结(Ta_2O_5)_(1-x)(TiO_2)_x陶瓷的拉曼光谱研究
《光散射学报》2006年第2期101-105,共5页蒋毅坚 季凌飞 
北京市自然科学基金(2052003);北京市属市管高等学校人才强教计划资助项目
简介了激光快速烧结陶瓷技术;测量了采用激光快速烧结技术和传统电炉烧结技术制备的(Ta2O5)1-x(TiO2)x陶瓷的相对介电常数和介电损耗;分析了这两类试样的激光拉曼光谱和粉末XRD谱;发现:(Ta2O5)1-x(TiO2)x陶瓷经激光快速烧结后产生了新相...
关键词:(Ta2O5)1-x(TiO2)x陶瓷 激光烧结 拉曼光谱 介电常数 
Ta_2O_5高温相结构
《电子显微学报》2005年第4期347-347,共1页刘显强 韩晓东 张泽 季凌飞 蒋毅坚 
关键词:TA2O5 相结构 高温相 半导体工业 介电系数 光电子元器件 单晶材料 电子显微学 单位面积 
激光辐照改变Ta_2O_5陶瓷的介电性能被引量:3
《光电子.激光》2004年第10期1242-1245,共4页季凌飞 王伟 于振龙 蒋毅坚 
北京市自然科学基金资助项目(2002005)
采用大功率CO2激光辐照技术,进行Ta2O5陶瓷介电性能的改性研究。对辐照前后陶瓷试样的介电性能进行了温度和频率特性的比较,通过X射线衍射(XRD)和扫描电镜(SEM)分析,探讨了其介电性能改变的微观机理。经400~1000W的大功率激光辐照处理...
关键词:改变 CO2激光 TC 处理 激光辐照 光辐射 分析 TA2O5 X射线衍射 介电性能 
衬底负偏压对溅射Ta_2O_5薄膜晶化温度及介电性能的影响
《无机材料学报》2004年第3期701-704,共4页许仕龙 朱满康 黄安平 王波 严辉 
北京市自然科学基金(2021003)
采用磁控溅射法,在衬底温度为620℃时,通过引入合适的衬底负偏压(100~200V),获得了结晶良好的Ta_2O_5薄膜,衬底负偏压增强了正离子对衬底表面的轰击作用,加速了其在衬底表面的松弛扩散效应,从而降低了Ta_2O_5薄膜的晶化温度,改善了其...
关键词:TA2O5 介电薄膜 晶化温度 衬底负偏压 
(Ta_2O_5)_(1-x)(TiO_2)_x陶瓷结构相变研究被引量:2
《光散射学报》2002年第1期58-61,共4页蒋毅坚 P.S.Dobal R.S.Katiyar 王越 
北京市自然科学基金 ( 2 0 0 2 0 0 5 );教育部青年骨干教师基金资助项目
采用固相反应技术制备了x分别为 0 0 5、0 0 8和 0 1 1的 (Ta2 O5) 1-x(TiO2 ) x 陶瓷 ;在室温至 6 0 0℃范围内 ,测量了这些陶瓷样品的拉曼光谱随温度的变化。随着温度的升高 ,拉曼光谱中位于 35~38cm- 1的最低频移的声子模发生软...
关键词:(Ta2O5)1-x(TiO2)x陶瓷 结构相变 拉曼光谱 热膨胀系数 介电材料 高密度动态随机存储器 
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