XY工作台

作品数：19被引量：45H指数：4
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相关领域：金属学及工艺自动化与计算机技术更多>>
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相关机构：安徽理工大学约翰内斯﹒海德汉博士有限公司THK株式会社日立制作所更多>>
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微电子封装设备精密定位系统的分析被引量：2
《装备制造技术》2008年第11期41-44,共4页印波 李克天 刘吉安 蔡召虎 陈铁强 
根据微电子封装设备定位平台高速高精度的特点,讨论了精密定位系统中工作台的机构形式、驱动方式、运动控制器、实时检测等关键技术的现状,为研发新型微电子封装高精密定位系统提供参考。
关键词：精密定位 XY工作台 驱动方式 运动控制器 实时检测 
晶圆工作台运动精度数据采集及处理
《机电工程技术》2008年第3期20-21,29,共3页刘建奇 李克天 刘吉安 黄向修 翁纪钊 
国家自然科学基金(编号:50475044);广东省自然科学基金(编号:04300155);广州市科技项目(编号:2004Z3-D9021)
本文采用光栅尺、数据采集卡以及开发的测量软件建立了一个粘片机晶圆传送精度检测系统。该系统通过在运行过程中适当设置采样频率和剔除冗余数据以获得有用的数据,并经过数据处理完成工作台的送片精度测量。
关键词：XY工作台 光栅尺 数据采集卡 数据处理 送片精度 
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