MIM薄膜二极管

作品数:6被引量:6H指数:2
导出分析报告
相关领域:电子电信更多>>
相关作者:黄蕙芬张浩康钟锐唐泽荣陈国平更多>>
相关机构:东南大学更多>>
相关期刊:《光电子技术》《真空电子技术》《固体电子学研究与进展》更多>>
-

检索结果分析

结果分析中...
条 记 录,以下是1-6
视图:
排序:
热处理对MIM薄膜二极管中Ta_2O_5膜表面形貌的影响
《光电子技术》2003年第3期194-198,共5页张浩康 钟锐 许晓伟 
采用了一种较为新颖的真空热处理和大气气氛下热处理相结合的热处理工艺 ,并应用到两种以反应溅射工艺为基础制备出的多层 Ta2 O5膜样品的后处理上。 AFM结果显示 ,经过真空和大气热处理之后 ,两种 Ta2 O5膜样品的表面平整度均得到了较...
关键词:热处理 MIM薄膜二极管 Ta2O5膜 表面形貌 反应溅射 电子束蒸发 原子力显微镜 
多层介质膜MIM薄膜二极管的I-V特性研究被引量:1
《固体电子学研究与进展》2003年第3期334-338,共5页钟锐 黄蕙芬 张浩康 王震 马俊 
制备了一种用于有源矩阵液晶显示的具有对称结构、较好 I-V特性对称性和较高电流通断比的 MIM薄膜二极管。采用了基于反应溅射的多层膜工艺制备其 Ta2 O5绝缘层。采用原子力显微镜 (AFM)对 Ta2 O5膜进行了表面分析 ,并对 MIM薄膜二极管...
关键词:液晶显示 多层介质膜 MIM薄膜二极管 I-V特性 反应溅射 电子束蒸发 
热处理对MIM薄膜二极管Ta_2O_5绝缘膜微结构及其IU特性的影响被引量:3
《真空科学与技术》1999年第6期461-465,共5页黄蕙芬 唐泽荣 钟锐 张浩康 
江苏省应用基础资助课题! (编号BJ970 1 6 )
制备了一种用于有源矩阵液晶显示、具有对称结构的MIM薄膜二极管 ,其中Ta2 O5膜采用溅射 /阳极氧化两步法工艺制成。对绝缘膜进行真空热处理 (一步热处理 )和经真空热处理后再进行大气热处理 (真空 /大气两步热处理 )。用原子力显微镜...
关键词:热处理 MIM 薄膜二极管 微结构 I-U特性 
MIM薄膜二极管Ta_2O_5绝缘膜的AFM分析及其I-V特性研究被引量:3
《固体电子学研究与进展》1999年第4期372-376,共5页黄蕙芬 
江苏省应用基础资助课题!(编号BJ97016)
制备了一种用于有源矩阵液晶显示的Ta-Ta2O5-Ta 结构MIM 薄膜二极管。其中,作为介质层的Ta2O5 膜由不同成膜技术得到。采用原子力显微镜(AFM)对Ta2O5 膜进行了表面形貌分析,并对其MIM 二极管的伏安...
关键词:薄膜二极管 原子力显微镜 TA2O5 绝缘膜 I-V特性 
用于有源矩阵液晶显示的Ta-Ta2O5-TaMIM薄膜二极管被引量:2
《真空电子技术》1999年第1期15-17,共3页黄蕙芬 庄大明 张浩康 刘云峰 
江苏省应用基础资助
本文介绍了一种用于有源矩阵液晶显示、具有对称结构的MIM薄膜二极管,其中Ta2O5膜采用溅射/阳极氧化两步法制成。实验结果表明,用此法制备的氧化钽膜作绝缘层的MIM二极管,具有良好的开关特性。
关键词:有源矩阵 液晶显示 MIM薄膜二极管 
有源矩阵液晶显示的进展被引量:2
《真空电子技术》1995年第1期33-40,共8页陈国平 张随新 
在分析了无源矩阵驱动的局限性的基础上,叙述和比较了MIM薄膜二极管和a-Si薄膜晶体管有源矩阵液晶显示的结构、工作原理和特性,并讨论了它们的进展与发展方向。
关键词:有源矩阵 液晶显示 MIM薄膜二极管 
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部