抽速

作品数：115被引量：160H指数：6
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大抽速、高容积KDCP—16低温泵研制
《真空》2024年第4期42-46,共5页卢政阳 管承红 杨晨 陈杰 李艳峰 董文庆 
国家重点研发计划(2023YFF0721300)。
介绍了中船鹏力(南京)超低温技术有限公司自主研制的大抽速、高容积KDCP-16低温泵,对其抽速和热负荷进行了理论计算,并测试了其主要性能指标(抽速、降温时间、抽气容积、渡越容量)。结果表明,KDCP-16低温泵N2抽速为6550 L/s,Ar抽速为565...
关键词：低温泵 抽速 降温时间 抽气容积 渡越容量 
基于流导法的G-M制冷机低温泵抽速测试与分析
《真空》2024年第3期20-25,共6页余彦飞 李晓刚 胡湘娥 陈进文 陈洁心 
广东省重点领域研发计划项目(2021B0101300004)。
抽气速率是衡量低温泵产品抽真空性能优劣的重要指标之一。除国内企业常用的流量法外,流导法亦是测量低温泵抽速的重要方法。本文依据现行标准中所规定的基于流导法原理测试真空泵气体抽速的方法,对ZD-200口径G-M制冷机低温泵对不同气...
关键词：G-M制冷机低温泵 流导法 抽速测试 性能分析 
EAST装置中新型吸附剂泵(NEG)抽速标定研究
《真空与低温》2024年第3期243-247,共5页王超 余耀伟 孙浩 曹斌 潘浩 凡斌 左桂忠 
国家重点研发计划(2022YFE03100003、2022YFE03130000);安徽省自然科学基金(2208085MA15)。
粒子排出是控制燃料粒子再循环、提升等离子体性能的关键因素之一。因此研究了新型吸附剂泵(NEG)在粒子排出技术中的潜在应用。NEG泵基于ZAO新型合金材料制成,对氢及其同位素抽速大、容量高,安装、运行、维护简单,兼容等离子体环境,适...
关键词：NEG泵 真空抽气系统 抽气速率标定 
EAST装置等离子体放电真空室抽气系统抽速标定及应用
《真空与低温》2024年第3期248-254,共7页黄明 元京升 左桂忠 曹斌 余耀伟 庄会东 陈跃 王勇 徐宏亮 胡建生 
国家重点研发计划项目(2022YFE03130000、2022YFE03100003);国家自然科学基金(12105322、12105135)。
真空系统是聚变装置的重要组成部分,EAST真空系统包括等离子体放电真空室和低温超导真空室。等离子体放电真空室又称内真空室。内真空室抽气系统直接影响装置的粒子排出,关系到高参数等离子体放电获得。EAST装置升级改造后的内真空室抽...
关键词：真空抽气系统 抽气速率标定 燃料粒子滞留 EAST 
大抽速氙气泵优化设计研究
《低温与超导》2024年第5期95-100,共6页武义锋 曾环 王君 杨杨 邓家良 
国家科技重大专项项目(2014ZX02001-003)资助。
介绍了500 mm口径大抽速氙气泵的抽气原理、结构、一级冷板优化设计和抽速测试。通过氙气和氮气抽气速率测试对比,该款大抽速氙气泵的氙气抽速与氮气抽速相近,实际抽速高达10 500 L/s,抽氙速率提高了1倍以上。大抽速氙气泵除了具有较优...
关键词：大抽速氙气泵 低温泵 抽气速率 
微型溅射离子泵的阳极筒长度对抽气特性的影响
《东北大学学报（自然科学版）》2023年第11期1596-1603,共8页耿健 王晓冬 郭美如 任正宜 
国家自然科学基金资助项目(61971209);国家重大科学仪器设备开发专项(2017YFF0105801)。
基于粒子云网格法与蒙特卡罗法,使用VSim软件对微型溅射离子泵内部潘宁放电的工作过程进行了分析.建立了二维仿真模型并得到了氮气离子入射阴极板时的入射能量、入射角度和入射位置等参数.将非垂直溅射产额理论与仿真得到的结果相结合,...
关键词：潘宁放电 等离子体模拟 蒙特卡罗 溅射产额 抽速 
半导体PVD用200mm口径低温泵性能测试研究
《真空》2023年第5期75-80,共6页邓家良 曾环 杨杨 冯欣宇 武义锋 
国家科技重大专项课题(2014ZX02001-003)。
降温时间、最低工作压力、抽速和抽气容量是低温泵的关键性能参数,本文设计并搭建了综合性能测试平台对200mm口径低温泵ICP200N进行了系统测量和分析。结果表明,ICP200N低温泵降温时间小于90min;无烘烤条件下最低工作压力可达10^(-7)Pa...
关键词：低温泵 降温时间 最低工作压力 抽速 抽气容量 
非蒸散型吸气剂泵(NEG)对N_(2)气的抽气特性研究被引量：1
《真空科学与技术学报》2023年第2期79-83,共5页陈千睿 魏萌萌 卢耀文 杨传森 丁双 闫睿 杨振 康朋伟 陈又琦 
北京市科技新星项目(2022115);中关村科技园概念验证项目(20210421075)。
非蒸散型吸气剂泵(NEG)是采用过渡族金属材料的吸气特性制作成的真空泵,用于超高/极高真空环境的获得及气体的纯化等方面。本文研制出吸气剂泵性能测试系统,研究了非蒸散型吸气剂泵对N_(2)气的抽气特性,分析了影响抽气性能的因素。研制...
关键词：非蒸散型吸气剂泵 抽速 激活 标准气体流量 
流量计法测量微型溅射离子泵抽速的方法
《东北大学学报（自然科学版）》2022年第9期1298-1304,1313,共8页耿健 王晓冬 郭美如 黄海龙 
国家自然科学基金资助项目(61971209);国家重大科学仪器设备开发专项(2017YFF0105801)。
介绍了基于流量计法原理搭建的抽速测量装置.在1×10^(-4)~1×10^(-2)Pa下使用磁悬浮转子真空计测量压力,当压力低于1×10^(-4)Pa时使用电离真空计测量压力.提出了一种测量电离真空计抽速与放气率的方法,测量了电离真空计在1×10^(-6)~1...
关键词：溅射离子泵 极小抽速 不确定度 仿真分析 潘宁放电 
一站式真空系统解决方案--MT系列永磁变频无油真空泵
《中华纸业》2022年第15期31-33,共3页钟柱 
1目前市场上主要使用的两种真空泵水环真空泵,特点是:结构简单,制造精度要求不高,容易加工,结构紧凑,泵的转速较高,一般可与电动机直连,无需减速装置,吸气均匀,工作平稳可靠,维修方便。如图1。罗茨真空泵,特点是:结构简单,无油气回流,...
关键词：罗茨真空泵 水环真空泵 无油真空泵 制造精度要求 减速装置 抽速 一站式 系统解决方案 
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