离子刻蚀

作品数：441被引量：769H指数：11
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《微纳电子技术》
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作品数：4652被引量：7349H指数：21
曾用名：半导体情报
issn：1671-4776cn：13-1314/TN
主办单位：中国电子科技集团公司第十三研究所
发文主题：MEMS 微电子机械系统 微机电系统 纳电子技术 CMP
发文领域：电子电信 机械工程 一般工业技术 自动化与计算机技术 理学
《微细加工技术》
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作品数：1244被引量：2063H指数：14
issn：1003-8213cn：43-1140/TN
主办单位：中国电子科技集团公司第48研究所
发文主题：离子注入 电子束曝光机 MEMS 光刻 金刚石
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 理学 一般工业技术 机械工程
《真空科学与技术学报》
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作品数：4335被引量：9136H指数：22
曾用名：真空科学与技术
issn：1672-7126cn：11-5177/TB
主办单位：中国真空学会
发文主题：磁控溅射 真空 性能研究 数值模拟 等离子体
发文领域：一般工业技术 理学 电子电信 金属学及工艺 机械工程
《微电子学》
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作品数：5533被引量：8861H指数：20
issn：1004-3365cn：50-1090/TN
主办单位：中国电子科技集团公司第二十四研究所
发文主题：CMOS 集成电路 低功耗 A/D转换器 模拟集成电路
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 电气工程 机械工程 文化科学
《Journal of Semiconductors》
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作品数：9341被引量：11403H指数：23
issn：1674-4926cn：11-5781/TN
主办单位：中国电子学会;中国科学院半导体研究所
发文主题：CMOS 硅 GAAS 砷化镓 GAN
发文领域：电子电信 理学 自动化与计算机技术 电气工程 一般工业技术
《半导体技术》
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作品数：8096被引量：10828H指数：22
issn：1003-353Xcn：13-1109/TN
主办单位：中国电子科技集团公司第十三研究所
发文主题：集成电路 半导体 硅 可靠性 半导体器件
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 经济管理 电气工程 理学
《压电与声光》
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作品数：6483被引量：14074H指数：26
issn：1004-2474cn：50-1091/TN
主办单位：四川压电与声光技术研究所
发文主题：压电 压电陶瓷 声表面波 介电性能 传感器
发文领域：电子电信 一般工业技术 电气工程 理学 自动化与计算机技术
《传感技术学报》
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作品数：8609被引量：34701H指数：44
issn：1004-1699cn：32-1322/TN
主办单位：东南大学;中国微米纳米技术学会
发文主题：无线传感器网络 传感器 MEMS 传感技术 无线传感网络
发文领域：自动化与计算机技术 电子电信 机械工程 理学 电气工程
《物理学报》
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作品数：30104被引量：93908H指数：65
issn：1000-3290cn：11-1958/O4
主办单位：中国物理学会;中国科学院物理研究所
发文主题：电子结构 第一性原理 第一性原理研究 等离子体 X
发文领域：理学 电子电信 机械工程 一般工业技术 电气工程
《电子工业专用设备》
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作品数：6615被引量：4738H指数：18
issn：1004-4507cn：62-1077/TN
主办单位：中国电子科技集团公司第四十五研究所
发文主题：半导体 半导体设备 集成电路 半导体产业 晶圆
发文领域：电子电信 经济管理 自动化与计算机技术 电气工程 机械工程
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