PECVD

作品数:718被引量:1141H指数:13
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《真空科学与技术学报》
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作品数:4335被引量:9136H指数:22
曾用名:真空科学与技术
issn:1672-7126cn:11-5177/TB
主办单位:中国真空学会
发文主题:磁控溅射 真空 性能研究 数值模拟 等离子体
发文领域:一般工业技术 理学 电子电信 金属学及工艺 机械工程
《功能材料》
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作品数:17172被引量:55125H指数:45
曾用名:仪表材料
issn:1001-9731cn:50-1099/TH
主办单位:重庆材料研究院有限公司
发文主题:性能研究 复合材料 力学性能 光催化 TIO
发文领域:一般工业技术 理学 化学工程 电气工程 金属学及工艺
《等离子体应用技术快报》
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作品数:864被引量:24H指数:2
主办单位:核工业西南物理研究院
发文主题:等离子体 等离子体源 离子植入 表面改性 离子束
发文领域:理学 电子电信 金属学及工艺 一般工业技术 核科学技术
《太阳能》
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作品数:7153被引量:8515H指数:26
issn:1003-0417cn:11-1660/TK
主办单位:中国可再生能源学会
发文主题:太阳能 可再生能源 光伏 光伏电站 太阳电池
发文领域:经济管理 电气工程 动力工程及工程热物理 建筑科学 农业科学
《Journal of Semiconductors》
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作品数:9341被引量:11403H指数:23
issn:1674-4926cn:11-5781/TN
主办单位:中国电子学会;中国科学院半导体研究所
发文主题:CMOS 硅 GAAS 砷化镓 GAN
发文领域:电子电信 理学 自动化与计算机技术 电气工程 一般工业技术
《半导体技术》
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作品数:8096被引量:10828H指数:22
issn:1003-353Xcn:13-1109/TN
主办单位:中国电子科技集团公司第十三研究所
发文主题:集成电路 半导体 硅 可靠性 半导体器件
发文领域:电子电信 自动化与计算机技术 经济管理 电气工程 理学
《太阳能学报》
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作品数:11917被引量:49633H指数:56
issn:0254-0096cn:11-2082/TK
主办单位:中国可再生能源学会
发文主题:太阳能 风力机 太阳电池 数值模拟 风电机组
发文领域:动力工程及工程热物理 电气工程 建筑科学 天文地球 理学
《半导体光电》
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作品数:5786被引量:11447H指数:26
issn:1001-5868cn:50-1092/TN
主办单位:重庆光电技术研究所
发文主题:半导体激光器 CCD 光纤 光纤光栅 光纤通信
发文领域:电子电信 自动化与计算机技术 理学 机械工程 电气工程
《真空》
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作品数:4802被引量:6209H指数:23
issn:1002-0322cn:21-1174/TB
主办单位:中国机械工业集团有限公司沈阳真空技术研究所有限公司
发文主题:真空 真空技术 磁控溅射 真空系统 真空泵
发文领域:一般工业技术 理学 电子电信 金属学及工艺 冶金工程
《人工晶体学报》
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作品数:10454被引量:20034H指数:27
issn:1000-985Xcn:11-2637/O7
主办单位:中材人工晶体研究院有限公司
发文主题:晶体生长 晶体 水热法 性能研究 晶体结构
发文领域:理学 化学工程 一般工业技术 电子电信 电气工程
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