李锡广

作品数：5被引量：28H指数：4
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供职机构：中北大学更多>>
发文主题：微陀螺磁阻效应磁敏电阻微机械陀螺阻尼孔更多>>
发文领域：自动化与计算机技术交通运输工程机械工程电子电信更多>>
发文期刊：《微纳电子技术》《电子器件》《传感技术学报》《半导体技术》更多>>
所获基金：山西省自然科学基金武器装备预研基金山西省科技攻关计划项目(工业)更多>>
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基于微小型稳定平台的MEMS陀螺信号调理电路设计与测试被引量：11
《电子器件》2018年第2期351-355,共5页蒋孝勇 李锡广 安永泉 唐军 李孟委 
武器装备预研基金项目(9140A20040515BQ04283);武器装备预研基金项目(9140A17060115BQ04241)
为提高MEMS陀螺的使用精度,基于微小型稳定平台应用背景设计了高精度MEMS陀螺信号调理电路,实验表明该电路提升了陀螺仪的使用精度。设计的调理电路采用高速24位Δ-Σ型A/D转换电路和高精度差分放大器对陀螺信号进行处理。基于MEMS陀螺...
关键词：MEMS陀螺 信号调理电路 零偏不稳定性 ALLAN方差 
基于隧道磁阻传感器的三维电子罗盘设计被引量：9
《传感技术学报》2015年第6期895-899,共5页王琪 李孟委 王增跃 蒋孝勇 李锡广 
兵科基金项目(622010750516);总装基金项目(9140A09011313BQ014118);山西省攻关项目(20130321014-04)
针对现有电子罗盘在地磁场检测时易受到外界磁场干扰而导致测量精度不高的问题,设计了基于隧道磁阻传感器(TMR)的三维电子罗盘并完成样机制作。研究了实际环境中电子罗盘的误差特性,经椭球拟合校正后,采用基于椭圆假设的椭圆拟合方法对...
关键词：电子罗盘 隧道磁阻传感器 罗差补偿 椭圆拟合 
基于磁阻传感器的旋转弹转速测量系统设计被引量：4
《传感器与微系统》2013年第6期108-110,125,共4页苏树清 李锦明 李锡广 
为了给弹体试验中所发生故障的机理分析提供重要的参考依据,介绍了一种基于HMC1043磁阻传感器的旋转弹转速测量系统的设计。设计主要采用了HMC1043三轴磁阻传感器和PIC24FV32KA301单片机芯片来完成系统功能。在详细阐述系统硬件设计的...
关键词：转速测量 HMC1043三轴磁阻传感器 PIC24FV32KA301单片机 
纳米膜隧穿效应微陀螺的结构设计与加工
《半导体技术》2013年第1期10-15,共6页李锡广 李孟委 杜康 郑伦贵 刘俊 
山西省自然科学基金(2011011013-1);重点实验室基金资助(9140C120402110C1201);科学院基金(62201070128)
基于GaAs材料和器件的制造工艺,介绍了纳米膜隧穿器件和微陀螺的结构设计方法和工艺加工方法。阐述了基于纳米膜隧穿效应微陀螺的工作原理,对纳米膜隧穿器件和微陀螺的结构进行了设计,分析了微陀螺的模态频率设计和匹配仿真。采用反应...
关键词：隧穿效应 微机械陀螺 模态匹配 MEMS加工 砷化镓 
MEMS陀螺中带孔结构空气阻尼建模分析被引量：4
《微纳电子技术》2012年第11期749-754,766,共7页李锡广 李孟委 王莉 崔敏 刘俊 
重点实验室基金资助项目(9140C120402110C1201);山西省自然基金资助项目(2011011013-1);科学院基金资助项目(62201070128)
针对MEMS陀螺中带孔结构的空气阻尼问题,根据制作的微陀螺,利用MATLAB软件对模态匹配、Q值匹配与灵敏度之间的关系进行了仿真分析。仿真结果表明在驱动和检测模态匹配时灵敏度幅值最大,但工作带宽却随Qx与Qz乘积的增大而减小。建立了空...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 陀螺 空气阻尼 Q值匹配 工作带宽 
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