熊强

作品数：4被引量：18H指数：2
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供职机构：河北省信息产业厅更多>>
发文主题：透明导电薄膜ZNO:AL绒面衬底温度中频磁控溅射更多>>
发文领域：电气工程理学更多>>
发文期刊：《光电子．激光》《太阳能学报》《兵工学报》更多>>
所获基金：国家重点基础研究发展计划天津市自然科学基金天津市科技发展战略研究计划项目天津市重点科技攻关项目更多>>
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ZnO∶Al绒面透明导电薄膜性能研究被引量：2
《兵工学报》2008年第4期504-508,共5页薛俊明 黄宇 熊强 马铁华 孙建 赵颖 耿新华 
天津市科技发展计划项目(06YFGZGX02100);国家“973”重点基础研究项目(2006CB202602和2006CB202603)
利用中频脉冲磁控溅射方法,以掺杂质量2%Al的Zn(纯度99.99%)金属材料为靶材制备平面透明导电ZnO∶Al(ZAO)薄膜,利用湿法腐蚀方法,将平面ZAO薄膜在一定浓度的稀盐酸中浸泡一定时间,使其形成表面凹凸起伏的绒面结构。研究了溅射功率、工...
关键词：凝聚态物理学 中频脉冲磁控溅射 ZnO:A1薄膜 绒面 溅射功率 工作气压 
ZnO:Al绒面透明导电薄膜的制备及分析被引量：9
《太阳能学报》2007年第7期701-705,共5页薛俊明 黄宇 熊强 马铁华 孙建 赵颖 耿新华 
天津市重点科技攻关项目(06YFGZGX02100);国家"973"重点基础研究项目(2006CB202602;2006CB202603);天津市自然科学重点基金项目(06YFJZJC01700)
利用中频脉冲磁控溅射方法,采用Al掺杂(质量百分比2%)的Zn(纯度99.99%)金属材料为靶材制备平面透明导电ZnO:Al(ZAO)薄膜。利用湿法腐蚀方法,将平面ZAO薄膜在0.5%的稀盐酸中浸泡一定时间后,形成表面凹凸起伏的绒面结构。研究了平面ZAO薄...
关键词：中频脉冲磁控溅射 ZnO:Al(ZAO)薄膜 绒面结构 
中频脉冲磁控溅射制备ZnO:Al透明导电薄膜被引量：6
《光电子．激光》2006年第12期1427-1431,共5页黄宇 孙建 薛俊明 马铁华 熊强 赵颖 耿新华 
国家"973"重点基础研究资助项目(G2000028202);天津市自然科学基金资助项目(043604911);天津市科技发展计划资助项目(06YFGX02100)
采用中频磁控溅射工艺，以2％的Al掺杂的Zn（纯度99．99％）金属材料为靶材制备平面及绒面透明导电ZnO：Al（ZAO）薄膜，系统研究了衬底温度、工作气压和溅射功率等对平面ZAO结构和光电特性的影响，并对湿法腐蚀制备绒面ZAO薄膜进行了...
关键词：中频磁控溅射 ZnO:Al(ZAO)薄膜 衬底温度 
衬底温度对中频磁控溅射ZnO∶Al透明导电薄膜性能的影响被引量：1
《兵工学报》2006年第5期891-894,共4页黄宇 熊强 薛俊明 马铁华 孙建 赵颖 耿新华 
国家重点基础研究发展规划项目(G2000028200);天津市自然科学基金资助项目(043604911)
ZnO：Al（ZAO）薄膜的光学、电学以及结构特性与衬底温度有关，以掺杂质量2％Al的Zn（纯度99．99％）金属材料做靶，采用中频磁控溅射技术研究衬底温度对ZnO透明导电薄膜性能的影响，获得适合太阳电池的高效能薄膜，薄膜厚度700nm左右...
关键词：凝聚态物理学 中频磁控溅射 ZnO:Al(ZAO)薄膜 衬底温度 载流子浓度 霍尔迁移率 
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