王洋

作品数:6被引量:9H指数:2
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供职机构:沈阳真空技术研究所更多>>
发文主题:离子束磁控溅射表面改性ECR等离子体离子束辅助沉积更多>>
发文领域:理学冶金工程核科学技术一般工业技术更多>>
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真空自耗电极电弧炉闭锁阀研制与使用功效
《真空》2003年第3期13-15,共3页张晶宇 张一鹏 郑辉 赵成修 王洋 
介绍了能安全可靠地在真空自耗电弧炉中炼钛时的高温、污染的环境下长期使用的闭锁阀的研制、阀的结构原理和实用中提高生产效率的例子。
关键词:真空自耗电极电弧炉 闭锁阀 研制  冶炼 结构 生产效率 钛锭 
稀土及其合金熔铸——水冷铜坩埚感应炉被引量:1
《真空》2003年第3期16-20,共5页赵成修 张一鹏 康宁 王洋 
本文简要介绍了由于采取了提高真空性能等有效措施,研制了型模加热和控温等装置以及离心铸造、压力铸造等结构,成功地使水冷铜坩埚感应炉应用于稀土材料熔铸中并批量生产出性能优良的稀土材料。
关键词:稀土 稀土合金 熔铸 水冷铜坩埚 感应炉 稀土功能材料 
低能辐照离子源设计及性能
《核聚变与等离子体物理》1999年第3期183-188,共6页任春生 牟宗信 李国卿 钟溥 郭宝海 康宁 王洋 黑祖昆 王亮 
简要介绍了低能辐照离子源的设计及性能。采用热阴极磁约束PIG放电,并用两极多孔加减速系统引出离子束。调试结果:离子束能量在200-2000eV范围内可调,最大引出束流150mA,灯丝工作寿命160h。
关键词:热阴极 磁约束 离子束 离子源 低能辐照 
新型离子束增强沉积技术被引量:2
《真空》1998年第6期40-43,共4页李国卿 任春生 牟宗信 郭宝海 钟溥 王洋 康宁 赵成修 王亮 孙俊才 黑祖昆 
离子束增强沉积技术是近年在离子注入技术基础上发展的新型材料表面改性技术,本文简要介绍多功能离子束增强沉积设备和应用技术研究,设备具有金属离子注入、气体离子注入、离子束增强沉积、磁控溅射沉积功能,进行材料表面改性和制备...
关键词:增强沉积 表面改性 薄膜 离子束 IBED 
热反射玻璃镀膜工艺的研究被引量:2
《真空》1996年第6期23-26,共4页王晓光 江月山 杨乃恒 赵新宇 王洋 王毓民 
本文采用直流磁控溅射方法,对氧化不锈钢膜、金属Ti膜、TiN膜和TiOxNy膜在不同工艺和不同组合条件下形成的两层膜系热反射镀膜玻璃的光学性能及有关组份进行了测试分析,阐明了该种方法及该种系列工艺条件下镀制热反射玻璃...
关键词:两层膜系 玻璃 镀膜 热反射玻璃 
微波ECR等离子体辅助磁控溅射沉积装置的研制被引量:4
《真空》1994年第6期19-23,共5页王洋 雷明凯 张仲麟 
本文介绍了一种新型的沉积装置──微波ECR等离子体辅助磁控溅射沉积装置。通过对装置性能的测试及沉积试验表明,该装置具有与离子束辅助沉积相类似的效果,但与离子束辅助沉积装置相比,该装置提高了成膜的沉积速度,降低了设备成...
关键词:ECR等离子体 磁控溅射 离子轰击 离子束辅助沉积 
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