黄火林

作品数：4被引量：18H指数：2
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供职机构：厦门大学更多>>
发文主题：紫外光电探测器AZO薄膜透明导电薄膜半导体光电探测器二氧化钛更多>>
发文领域：理学一般工业技术核科学技术电子电信更多>>
发文期刊：《光学学报》《光谱实验室》《Journal of Semiconductors》《光电子．激光》更多>>
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RF磁控溅射功率对ZnO:Al薄膜结构和性能的影响被引量：10
《光电子．激光》2008年第12期1648-1652,共5页杨伟锋 刘著光 吕英 黄火林 吴正云 
采用RF磁控溅射技术以ZnO2Al2O3（2wt％Al2O3）为靶材在石英玻璃衬底上制备多晶ZnO：Al（AZO）薄膜，通过XRD、AFM、AES以及Hall效应、透射光谱、折射率等手段研究了RF溅射功率（50-300w）对薄膜的组织结构和电学，光学性能的影响。分...
关键词：RF磁控溅射 透明导电薄膜 AZO薄膜 
Structural,Electrical,and Optical Properties of Transparent Conductive Al-Doped ZnO Films Prepared by RF Magnetron Sputtering被引量：2
《Journal of Semiconductors》2008年第12期2311-2315,共5页杨伟锋 刘著光 张峰 黄火林 吴正云 
Highly conductive transparent Al-doped zinc oxide （AZO） films with highly （002）-preferred orientation were successfully deposited on glass substrates at room temperature by RF magnetron sputtering. Optimization of...
关键词：RF magnetron sputtering transparent conductive film AZO film 
氩气压强对射频磁控溅射ZnO∶Al薄膜结构和性能的影响被引量：2
《光谱实验室》2008年第3期425-427,共3页刘著光 杨伟锋 吕英 黄火林 吴正云 
以ZnO∶Al2O3为靶材在石英玻璃衬底上射频磁控溅射制备多晶ZnO∶A l(AZO)薄膜,通过XRD、AFM以及H all效应、透射光谱等测试研究了RF溅射压强对薄膜结构、电学与光学性能的影响。分析表明:所制备的薄膜具有c轴择优取向,当压强为1.2Pa时...
关键词：RF磁控溅射 透明导电薄膜 AZO薄膜 
4H-SiC基底Al2O3／SiO2双层减反射膜的设计和制备被引量：4
《光学学报》2008年第12期2431-2435,共5页黄火林 张峰 吴正云 齐红基 姚建可 范正修 邵建达 
在4H-SiC基底上设计并制备了Al2O3/SiO2紫外双层减反射膜,通过扫描电镜(SEM)和实测反射率谱来验证理论设计的正确性。利用编程计算得到Al2O3和SiO2的最优物理膜厚分别为42.0nm和96.1nm以及参考波长λ=280nm处最小反射率为0.09%。由误差...
关键词：薄膜光学 Al2O3/SiO3双层减反射膜 电子束蒸发 4H—SiC基底 折射率 
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