唐凌

作品数：3被引量：10H指数：2
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供职机构：复旦大学更多>>
发文主题：PEM半导体器件碳铂聚焦离子束更多>>
发文领域：电子电信政治法律更多>>
发文期刊：《Journal of Semiconductors》《半导体技术》《微纳电子技术》更多>>
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聚焦离子束诱发金属有机化学气相淀积碳-铂薄膜被引量：3
《Journal of Semiconductors》2004年第11期1458-1463,共6页江素华 唐凌 王家楫 
通过一系列实验 ,对聚焦离子束诱发 MOCVD的成膜机理进行了研究 ,给出了淀积速率同离子束流等参数之间关系的理论模型 .发现随着离子束流的增大 ,薄膜淀积速率增大 ,但并非完全线性增加 ,薄膜中的 C/ Pt比例也随之变化 ,薄膜电阻率则随...
关键词：聚焦离子束 金属有机化学气相淀积 薄膜 铂 碳 
PEM用于半导体器件失效缺陷检测和分析被引量：6
《半导体技术》2004年第7期43-47,共5页唐凌 瞿欣 方培源 杨兴 王家楫 
光发射显微镜(PEM)是90年代发展起来的一种高灵敏度、高分辨率的新型缺陷定位分析技术。随着半导体器件线宽的不断下降,光发射显微镜已广泛使用于IC和分立器件中漏电、击穿、热载流子等失效点的定位和失效机理的分析。本文介绍了光发射...
关键词：PEM 光发射显微镜 半导体器件 失效缺陷检测 
深亚微米ULSI工艺检测技术——扫描探针显微镜被引量：1
《微纳电子技术》2002年第2期38-42,共5页王家楫 唐凌 
扫描探针显微镜(SPM)是80年代发展起来的一种具有超高空间分辨率的显微技术。扫描探针显微镜功能强大,在表面科学、生命科学、微电子工业等许多领域得到广泛的运用。随着集成电路的线宽进入深亚微米阶段,扫描探针显微镜在ULSI工艺表征...
关键词：SPM ULSI 微分析 扫描探针显微镜 深亚微米 工艺检测技术 
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