张营营

作品数：2被引量：4H指数：2
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供职机构：北京科技大学更多>>
发文主题：金刚石膜真空热处理ALN薄膜ALN硅基更多>>
发文领域：理学一般工业技术化学工程更多>>
发文期刊：《金刚石与磨料磨具工程》《材料热处理学报》更多>>
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金刚石自支撑膜衬底制备AlN薄膜的性能被引量：2
《材料热处理学报》2011年第8期1-5,共5页张营营 李成明 陈良贤 刘金龙 黑立富 吕反修 
国家"863"计划支持项目(2008AA03Z408)
采用射频磁控反应溅射法在金刚石自支撑膜衬底上沉积了AlN薄膜,XRD结果表明得到了(002)面择优取向的AlN薄膜;AFM的表面形貌结果显示薄膜表面平整,晶粒均匀,表面粗糙度为2.97 nm。XPS分析结果表明,离子剥蚀2.1 nm后Al/N原子百分比接近于1...
关键词：射频磁控反应溅射 金刚石自支撑膜 ALN 增透性 
大面积金刚石膜/Si衬底复合片均匀性研究被引量：2
《金刚石与磨料磨具工程》2010年第5期44-48,共5页张营营 李成明 陈良贤 刘金龙 黑立富 吕反修 
863计划支持项目(2008AA03Z408)
对直流电弧等离子体喷射化学气相沉积技术,在φ76.2 mm的Si衬底上沉积得到的金刚石膜,通过SEM和激光Raman表征其质量均匀性。为缓解金刚石膜/Si复合片的内应力,采用台阶式冷却的方式,对样品在1 050℃进行真空退火处理,使样品内的压应力...
关键词：金刚石膜 均匀性 真空退火 表面粗糙度 
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