曾慧中

作品数：19被引量：35H指数：4
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发文主题：针尖显微镜压电原子力显微镜铁电薄膜更多>>
发文领域：一般工业技术电子电信电气工程机械工程更多>>
发文期刊：《硅酸盐学报》《现代科学仪器》《电子测量技术》《中国电子教育》更多>>
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近场微波显微镜软接触模式测量介电常数的研究被引量：1
《测试技术学报》2020年第6期461-464,480,共5页黄和 彭斌 曾慧中 鞠量 张万里 
国家重点研发计划资助项目(2017YFB0406401)。
近场微波显微镜测试样品介电常数依赖于针尖与样品的距离,准确控制针尖与样品距离是准确测试介电常数的基础.基于谐振腔谐振频率随针尖-样品距离接近曲线的探究,本文提出了一种准确实现探针与样品软接触的方法,采用软接触模式测量了一...
关键词：近场微波显微镜 软接触 介电常数 
离子注入剥离铌酸锂单晶薄膜的Ar^+刻蚀研究被引量：1
《压电与声光》2020年第5期674-677,共4页方远苹 罗文博 郝昕 白晓园 曾慧中 帅垚 张万里 
四川省科技支撑基金资助项目(2018JY0127)。
通过高能离子注入剥离制备的铌酸锂(LNO)单晶薄膜具备优良的电光、声光等性能,在射频器件、光波导等领域需求迫切。高能离子注入使LNO单晶薄膜表面存在损伤层,导致薄膜质量和器件性能的衰减。该文提出了Ar^+刻蚀去除LNO单晶薄膜损伤层...
关键词：铌酸锂(LNO)单晶薄膜 表面损伤层 Ar^+刻蚀 晶体质量 压电性能 
HfO2/SrTiO3全氧化物场效应晶体管栅极漏电性质研究
《电子元件与材料》2020年第9期56-61,共6页杨潇 肖化宇 唐义强 曾慧中 张万里 
国家重点研发计划(2017YFB0406401);国家自然科学基金(51672035)。
基于等离子轰击和射频磁控溅射技术,制备了HfO2/SrTiO3结构的全氧化物场效应晶体管(FET),并研究了其栅极漏电性质。该全氧化物晶体管的制备工艺均在室温条件下完成,包括Ar+轰击在SrTiO3单晶表面产生的导电沟道,溅射生长非晶HfO2薄膜作...
关键词：非晶氧化物 场效应晶体管 漏电机制 空间电荷限制电流 缺陷 
HfO2/SrTiO3氧化物场效应晶体管的深能级瞬态谱测试方法研究
《电子测量技术》2020年第9期23-28,共6页肖化宇 杨潇 唐义强 曾慧中 张万里 
国家自然科学基金(51672035)项目;国家重点研发计划(2017YFB0406401)项目资助
研究了深能级瞬态谱(DLTS)测量HfO2/SrTiO3(STO)场效应晶体管中缺陷的方法。该场效应晶体管的沟道为Ar+轰击SrTiO3表面形成的导电层,导电层表现为n型掺杂,其载流子浓度约为2.5×1013 cm-2;栅介质为通过磁控溅射的方法制备的非晶氧化铪...
关键词：HfO2/SrTiO3 场效应晶体管 DLTS 缺陷 介电常数 
针尖-样品距离对近场扫描微波显微镜空间分辨率的影响被引量：2
《测试技术学报》2019年第4期365-368,共4页鞠量 彭斌 黄和 曾慧中 张万里 
国家重点研发计划资助(2017YFB0406400)
根据近场微波测试原理搭建了一套近场扫描微波显微镜系统,在不同针尖-样品距离情况下,测试了宽度分别为260μm和470μm的NiFe薄膜在宽度方向的轮廓,研究结果表明,随着针尖-样品距离的增加,测试的空间分辨率降低.通过对扫描得到的轮廓曲...
关键词：近场扫描微波显微镜 针尖-样品距离 空间分辨率 线宽 
Ar^+轰击SrTiO_3表面缺陷的模拟计算方法研究
《电子元件与材料》2018年第11期51-54,60,共5页王放 曾慧中 张万里 
国家自然科学基金项目(U1435208)
SrTiO_3的电学性质严重依赖于氧空位浓度。采用Ar^+轰击SrTiO_3能使其表面产生氧空位。本文提出了一种基于蒙特卡罗模拟辅助控制离子注入时间的方法,利用SRIM程序模拟Ar^+注入Sr TiO_3,分析了氧空位的分布情况,再通过迭代计算研究氧空...
关键词：蒙特卡罗模拟 SRIM程序 计算 钛酸锶 氧空位 非晶层 
导电SrTiO_3上脉冲激光沉积非晶HfO_2薄膜的漏电机理分析
《电子元件与材料》2018年第8期30-35,共6页周瑶 何鹏 幸代鹏 曾慧中 张万里 
国家自然科学基金资助项目(U1435208)
利用脉冲激光沉积技术在Sr Ti O_3表面导电层上方制备非晶Hf O_2栅介质薄膜,通过磁控溅射技术在非晶Hf O_2栅介质薄膜上方制备直径为100μm的圆形Pt电极,研究了变温条件下Pt/Hf O_2/Sr Ti O_3的漏电流I-V特性,分析了非晶Hf O_2栅介质层...
关键词：脉冲激光沉积 非晶薄膜 SrTiO3表面导电层 HFO2栅介质 I-V特性 漏电机制 
绝缘体表面电荷的开尔文探针力显微镜测量方法被引量：3
《电子测量技术》2018年第12期91-95,共5页何月 何鹏 幸代鹏 曾慧中 张万里 
自然科学基金(U1435208)项目资助
研究了一种基于开环模式开尔文探针力显微镜的表面电荷测量方法。该方法能够避免闭环模式开尔文探针力显微镜中外加直流偏压对电荷测量的影响。研究了针尖-样品间距、交流电压、比例系数等参数对电势测量的影响,优化了开环模式开尔文探...
关键词：开尔文探针力显微镜 绝缘体材料 表面电荷测量 反射镜薄膜 
Ar^+轰击SrTiO_3表面的持续光电导现象
《电子元件与材料》2018年第4期22-28,共7页何鹏 幸代鹏 周瑶 何月 曾慧中 
国家自然科学基金项目(U1435208)
持续光电导现象在光电器件中有着潜在的应用。采用亚禁带光激发手段研究了SrTiO_3表面的持续光电导效应。Ar+轰击后的SrTiO_3单晶可以形成具有光电效应的表面导电层。在温度80 K至300 K范围内,饱和光电导与激光功率强度之间呈现幂律规律...
关键词：钛酸锶 亚禁带 持续光电导 扩展指数型衰减 弛豫时间 随机局部势能涨落 
扫描探针显微镜针尖电容的测量与应用被引量：2
《电子测量技术》2009年第2期163-165,169,共4页孙浩明 王志红 曾慧中 古曦 
本文基于扫描探针显微镜(SPM)建立了微区电容的低频测量系统,最小测量电容为30aF,工作频率为20～100kHz。试验测量了SPM导电针尖与金属样品之间的电容Ctip与它们之间的距离z关系曲线,并同时通过光学系统测量了针尖的关于频率的一次受力...
关键词：扫描探针显微镜 微区电容 锁相放大 C-z曲线 C-V曲线 
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