霍芸生

作品数：16被引量：32H指数：3
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供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文主题：原子光刻惰性气体光刻准分子激光器钡更多>>
发文领域：电子电信理学机械工程更多>>
发文期刊：《激光与红外》《中国激光》《物理学报》《激光杂志》更多>>
所获基金：国家自然科学基金上海市科学技术发展基金更多>>
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亚稳态氖原子光刻的实验研究被引量：1
《中国激光》2003年第1期22-24,共3页霍芸生 蔡惟泉 曾庆林 鄢和明 王育竹 
国家自然科学基金 (No .19774 0 6 0 )资助项目
用亚稳态氖原子束进行了原子光刻实验。用栅网作掩膜 ,以扩散泵油的有机分子在高能亚稳态氖原子作用下所生成的碳膜作抗蚀剂 ,在硅片上刻蚀出分辨率为 2 μm的微结构 ,为进一步的纳米级原子光刻技术的研究打下了基础。
关键词：原子光刻 亚稳态氖原子束 惰性气体 微结构 
原子光刻用亚稳态氖原子束源的研究被引量：2
《中国激光》2002年第1期40-42,共3页霍芸生 蔡惟泉 曾庆林 鄢和明 王育竹 
国家自然科学基金 (No .197740 6 0 )资助项目
研制了一台用于原子光刻的亚稳态氖原子束源 ,其束流强度可达 3 3× 10 14 atoms/s·Sr.。研究了束流强度的变化规律 ,并对其机理进行了探讨。
关键词：原子光刻 惰性气体 亚稳态 原子束 束流强度 氖原子 
增强腔在大失谐原子光刻中的应用
《中国激光》2001年第9期783-785,共3页曾庆林 蔡惟泉 霍芸生 王育竹 
国家自然科学基金 (批准号 :696780 09;19774 0 60 );上海市科学技术发展基金 (批准号:97JC14 0 0 2 )资助课题
对增强腔在大失谐光场原子光刻中的实现进行了详细的讨论 ,通过增强腔对激光光束的压缩和功率的增强可达到近共振原子光刻的要求。数值结果显示相对于近共振原子刻印结果 ,在增强腔下光束中心处沉积的原子条纹宽度将更细 ,为原子刻印提...
关键词：大失谐光场 原子光刻 增强腔 
红移高功率大失谐驻波光场原子光刻被引量：5
《光学学报》2001年第8期918-922,共5页曾庆林 霍芸生 蔡惟泉 王育竹 
国家自然科学基金 (696780 0 9;197740 60 );上海市科学技术发展基金 (97JC140 0 2 )资助课题
研究了红移大失谐驻波光场在高功率的情况下对原子束的聚焦特性 ,数值结果显示在激光功率较高的情况下 ,有实现原子光刻的可能。在单线功率输出为P =7W ,光斑尺寸为w0 =0 .1mm的Ar+ 离子激光束的条件下 ,Cr原子束在置于焦平面处的基板...
关键词：红移大失谐驻波光场 增强腔 原子光刻 
用于热原子束的消色差原子透镜的研究被引量：1
《中国激光》2001年第3期245-248,共4页霍芸生 蔡惟泉 曾庆林 王育竹 
国家自然科学基金! (批准号 :6 96 780 0 9;197740 6 0 );上海市科学技术发展基金! (批准号 :97JC140 0 2 )资助课题
研究了与钠原子束斜交的激光束所构成的消色差原子透镜的聚焦特性 ,计算结果表明 ,由于色差得到一定程度的修正 ,沟道化钠原子的条纹宽度减小了一半 ,且信噪比得到了显著的提高。
关键词：原子透镜 消色差 热原子束 光刻 
玻色爱因斯坦凝聚体一维轴向干涉中的非线性现象被引量：3
《光学学报》2000年第3期315-318,共4页洪涛 霍芸生 王育竹 
国家自然科学基金!(1 98340 60 );国家科学技术部 95-预备 - 34项目资助课题
利用含时的 Gross- Pitaevskii方程 ,研究了轴对称的高密度玻色爱因斯坦凝聚体在干涉过程中因原子间相互作用而产生的非线性现象。发现玻色爱因斯坦凝聚体的一维轴向干涉条纹的密度分布是一种驻波状结构。通过原子波之间非线性耦合相互...
关键词：玻色爱因斯坦凝聚体 非线性原子光学 
原子光刻被引量：21
《物理学报》1999年第4期611-619,共9页蔡惟泉 李传文 霍芸生 王育竹 
国家自然科学基金;上海市科学技术发展基金
介绍了根据量子光学的最新成果———激光冷却和捕陷中性原子的原理而发展出的一种新型纳米级刻印技术———原子光刻．介绍了该项技术的基本原理、总体方案、单元技术及刻印结果，将这项新技术与其他微刻印方法进行了比较，展望了其应...
关键词：原子光刻 刻印 量子光学 激光冷却 原子捕陷 
KrF激光在氢－惰性气体体系中的反斯托克斯拉曼转换
《中国激光》1995年第8期604-606,共3页霍芸生 丁爱臻 
通过氢－惰性气体体系中惰性气体分子对氢拉曼能级的碰撞加宽所引起的对拉曼增益系数的控制，抑制了由一阶向二阶斯托克斯的受激拉曼转换，提高了低价反斯托克斯拉曼转换的效率。
关键词：KRF激光 受激拉曼转换 散射 氢气 惰性气体 
钡蒸气中放大自发辐射与参量四波混频的竞争
《中国激光》1995年第7期519-522,共4页霍芸生 林英仪 丁爱臻 上官诚 楼祺洪 
研究了在双光子共振条件下，Ｂａ蒸气中放大自发辐射（ＡＳＥ）与参量四波混频（ＰＦＷＭ）的竞争过程，其机制可归结为ＡＳＥ与ＰＦＷＭ之间的干涉相消。
关键词：非线性光学 钡蒸气 放大自发辐射 参量四波混频 
反斯托克斯拉曼转换增益系数的最佳化
《中国激光》1994年第8期649-652,共4页霍芸生 
研究了反斯托克斯拉曼转换与受激拉曼散射之间的竞争过程，讨论了反斯托克斯拉曼转换增益系数的最佳化。
关键词：反SR转换 增益系数 最佳化 VUV 
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