马春兰

作品数：3被引量：4H指数：1
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供职机构：苏州大学物理科学与技术学院（能源学院）物理学系更多>>
发文主题：含氢非晶碳膜基片温度ECR沉积温度电学性质更多>>
发文领域：理学更多>>
发文期刊：《物理学报》《人工晶体学报》《苏州大学学报（自然科学版）》更多>>
所获基金：江苏省教委自然科学基金江苏省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
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基片温度对含氢非晶碳膜电学特性的影响
《苏州大学学报（自然科学版）》2000年第3期52-56,共5页马春兰 程珊华 宁兆元 
国家自然科学基金资助项目!(596 370 50 )
用电子回旋共振等离子体化学气相沉积 (ECR CVD)方法在不同基片温度下从苯制得了含氢非晶碳膜 (α C :H) ,对样品进行了伏安特性测试 考察了基片温度对电阻率与击穿场强的影响 ,并结合Raman谱探索α C
关键词：非晶碳膜 基片温度 电学特性 
沉积温度对含氢非晶碳膜电学性质的影响被引量：4
《物理学报》2000年第10期2041-2046,共6页程珊华 宁兆元 康健 马春兰 叶超 
江苏省自然科学基金!(批准号 :LL772 3 );江苏省教委自然科学基金资助的课题&&
用苯作为源气体 ,使用微波电子回旋共振 (ECR)等离子体气相沉积法在不同温度下制备了含氢非晶碳薄膜 ,研究了沉积温度对薄膜的直流电阻率、击穿场强的影响 ,发现它们与沉积速率密切相关 .测量了薄膜的含氢量与Raman谱 。
关键词：非晶碳薄膜 直流电阻 含氢 沉积温度 电学性质 
使用ECR等离子体沉积和刻蚀非晶碳薄膜
《人工晶体学报》2000年第3期257-263,共7页宁兆元 马春兰 
用苯作源气体在一个微波电子同回旋共振等离子体系统中沉积了含氢非晶碳薄膜，研究了学积参数对膜的生长速率的影响。为了探索种薄膜在干刻蚀工艺过程中用作掩原可能性，还研究了它在氧等离子体中的刻蚀性能。结果表明非晶碳膜对于氧等...
关键词：非晶碳薄膜 ECR 等离子体 沉积 刻蚀 
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