李昱

作品数:7被引量:10H指数:2
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供职机构:福州大学物理与信息工程学院更多>>
发文主题:性能研究薄膜电极防氧化表面形貌U更多>>
发文领域:电子电信一般工业技术理学更多>>
发文期刊:《光学学报》《福州大学学报(自然科学版)》《光电子技术》《液晶与显示》更多>>
所获基金:国家高技术研究发展计划博士科研启动基金福建省科技重大专项福建省教育厅资助项目更多>>
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Cr/Cu/Ag/Cu/Cr新型银基复合薄膜电极的防氧化性能研究被引量:3
《真空科学与技术学报》2011年第4期381-385,共5页翁卫祥 贾贞 于光龙 李昱 郭太良 
福州大学博士基金(No.826768);国家"863"计划重大专项(2008AA03A313);福建省重大科技专项(2004HZ01-2)
采用直流磁控溅射技术和光刻工艺制备了Cr/Cu/Ag/Cu/Cr复合薄膜及其电极,研究不同温度热处理对复合薄膜和电极结构、表面形貌和电性能的影响。Ag层与最外层的Cr层之间的Cu层不仅增强了Cr和Ag之间的粘附力,而且起到了牺牲层和氧气阻挡层...
关键词:Cr/Cu/Ag/Cu/Cr薄膜 薄膜电极 表面形貌 防氧化性能 
ZnO:Sn/Ag/ZnO:Sn复合薄膜电极的防氧化性能研究
《真空科学与技术学报》2011年第3期258-261,共4页李昱 袁军林 翁卫祥 吴朝兴 贾贞 郭太良 
福州大学博士基金项目(No.826768);国家"863"计划重大专项(2008AA03A313);福建省教育厅资助项目(JA09017)
随着分辨率的提高,传统金属电极在电阻率和抗氧化性能方面已经不适合作为需要高温热处理的场致发射显示器件中的薄膜电极。本文采用5.77%(原子比)Sn掺杂的ZnO:Sn作为Ag层的保护层,利用磁控溅射法制备ZnO:Sn/Ag/ZnO:Sn复合薄膜及其电极,...
关键词:ZnO:Sn 薄膜电极 抗氧化 电阻率 
Cr/Cu/Al/Cr薄膜电极的防氧化性能被引量:2
《液晶与显示》2011年第2期183-187,共5页翁卫祥 于光龙 贾贞 李昱 郭太良 
国家"863"计划重大专项(No.2008AA03A313);福建省重大科技专项(No.2004HZ01-2);福州大学博士基金(No.826768)
采用Al作为Cu导电层的主要防氧化保护层,在普通浮法玻璃上利用磁控溅射和湿法刻蚀技术制备Cr/Cu/Al/Cr复合薄膜及其电极,研究不同的热处理温度对复合薄膜及其电极的结构、表面形貌和导电性能的影响。由于有Al层作为保护层,在热处理过程...
关键词:Cr/Cu/Al/Cr薄膜 薄膜电极 表面形貌 防氧化性能 
电子束蒸发Al_2O_3/SiO_2复合薄膜电学性能的研究被引量:3
《福州大学学报(自然科学版)》2011年第1期67-71,共5页翁卫祥 贾贞 于光龙 李昱 郭太良 
国家"863"计划重大专项资助项目(2008AA03A313);福州大学博士基金资助项目(826768)
利用离子辅助电子束蒸发技术,在玻璃基底上以交替沉积的方式制备了Al2O3/SiO2叠层复合薄膜,单层介质膜膜厚分别选取54和16 nm,总厚度为560 nm.采用步进法测试得到金属电极/复合绝缘膜/金属电极(MIM)结构的I-V特性曲线,具体成分为CrCuCr/...
关键词:AL2O3 SIO2 复合薄膜 电子束蒸发 电学性能 导通机制 
后栅型场发射显示器窜压现象的研究被引量:1
《真空科学与技术学报》2011年第1期12-16,共5页吴朝兴 胡利勤 苏艺菁 李昱 郭太良 
国家863计划重大专项(2008AA03A313);福建省科技重大专项专题(2004HZ01-2);福建省教育厅资助项目(NO.J09003);福建省自然科学基金资助项目(No.2009J05145)
提出后栅型场发射显示器(FED)测试过程中的窜压现象,解释该现象的产生原因。阴极电极侧壁场发射电子轰击栅极导致电压表示数发生变化。针对此问题设计一种具有沟槽状介质层结构的后栅型FED从而避免阴极电极侧壁的电子发射。采用全印...
关键词:窜压现象 沟槽状介质层 二次电子发射 后栅型结构 场致发射 
中频磁控溅射AlN薄膜的电学性能研究
《光电子技术》2010年第2期122-126,共5页贾贞 翁卫祥 袁军林 张杰 李昱 郭太良 
国家"863"计划重大专项(2008AA03A313);福建省重大科技专项(2004HZ01-2)
利用中频反应磁控溅射在玻璃衬底上沉积了不同溅射功率的AlN薄膜。采用X射线衍射仪、原子力显微镜和电击穿场强测试系统研究了薄膜的结构和电学性能,并对该介质薄膜的导通机制进行了分析。结果表明,所制备的薄膜呈非晶态,5kW溅射功率下...
关键词:ALN薄膜 中频反应磁控溅射 电学性能 导通机制 
一种电子束自会聚型后栅场发射显示器的研究被引量:1
《光学学报》2010年第12期3574-3579,共6页吴朝兴 张永爱 张杰 李昱 郭太良 
国家863计划(2008AA03A313);福建省科技厅资助省属高校项目(2008F5001);福建省教育厅资助项目(J09003);福建省自然科学基金(2009J05145)资助课题
提出一种具有凹面阴极结构的电子束自会聚型后栅场发射显示器(FED)。利用Ansys软件模拟此器件的电场分布和电子束轨迹,研究凹面阴极不同曲率半径对阳极光斑尺寸的影响,并与平面阴极型后栅FED进行比较。仿真结果表明此器件可有效减小电...
关键词:光电子学 场致发射 自会聚 计算机模拟 后栅结构 
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