裴文彦

作品数：14被引量：25H指数：3
导出分析报告
供职机构：广东工业大学更多>>
发文主题：光刻激光光刻均匀化投影光刻激光技术更多>>
发文领域：电子电信文化科学理学机械工程更多>>
发文期刊：《现代电子技术》《电气电子教学学报》《广东工业大学学报》《吉林省教育学院学报（下旬）》更多>>
所获基金：广东省自然科学基金广东省科技计划工业攻关项目广州市科技计划项目更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
基于波导管的无缝扫描光刻激光均束设计被引量：1
《光学技术》2009年第4期615-617,621,共4页裴文彦 周金运 梁国均 林清华 
广东省自然科学基金资助项目(07001789);广东省科技计划资助项目(2007B010400071)
351nm波长的准分子激光器由光波导管作为激光均束器,直接输出正六角形均匀分布的照明光束,能在大面积激光投影光刻中实现无缝扫描。同目前常用的微透镜阵列器相比制作简单,无须光阑就能直接获取所需要的六角形光束,减少了能量损失。通...
关键词：准分子激光器 均束器 光波导管 光刻 无缝扫描 光学设计 
印刷电路板激光投影成像照明系统均匀性分析被引量：4
《量子电子学报》2009年第3期360-365,共6页裴文彦 周金运 梁国均 林清华 
广东省自然科学基金(07001789);广东省科技计划项目(2007B010400071);广州市科技计划项目(2006Z3D0041)
针对351 nm波长的XeF准分子激光器,自行设计了用于高精度、高产率、大面积且常规抗蚀剂曝光的印刷电路板(PCB)激光投影成像照明系统。根据准分子激光的部分相干平顶高斯光束(PCFGB)理论模型,对微透镜阵列器(MLA)均束的衍射特性进行了理...
关键词：激光技术 均束器 激光投影成像光刻 XeF准分子激光 印刷电路板 加工窗 
大面积循环扫描投影光刻对准系统设计和分析
《半导体光电》2009年第3期455-459,共5页裴文彦 周金运 林清华 
广东省自然科学基金项目(07001789);广东省科技计划项目(2007B010400071)
设计了大面积循环扫描投影光刻的高精度对准系统,由CCD传感器、图像识别软件和共焦显微镜组成的光学测量系统和对掩模和基片的相对位置作二维和角度及时修正的精密定位系统两部分组成。标记图像的二维方向扫描分别借助光刻平台的移动和...
关键词：投影光刻 对准 激光共焦扫描显微镜 CCD相关双采样 
大面积激光投影成像曝光技术
《装备制造技术》2009年第5期38-40,共3页裴文彦 周金运 林清华 
广东省自然科学基金(07001789);广东省科技计划项目(2007B010400071);广州市科技计划项目(2006Z3D0041)
介绍了大面积激光投影成像曝光系统的构成和工作过程,阐述了其中的关键核心技术如激光照明光学技术、折叠投影光学技术、大面积扫描技术和光学自动对准技术,分析了光学系统的参数、配置以及光路设计等存在的问题,对大面积扫描中的无接...
关键词：激光投影成像曝光 准分子激光器 大面积激光扫描 对准 无缝误差 
准分子激光均束器及其研究进展
《中国科技博览》2009年第7期66-67,共2页裴文彦 周金运 林清华 
基金项目：广东省自然科学基金（07001789）广东省科技计划项目（2007B010400071）
以准分子激光在半导体微光刻技术、脉冲激光沉积、平板显示器加工制造以及激光钻孔中的应用为例，阐述了准分子激光光束均匀化的重要性；按照折射光学元件、衍射光学元件和混合光学元件分类的方法，分别对这三类准分子激光均束器进行了...
关键词：准分子激光 均束器 光刻 加工窗 
大学物理中典型光学实验原理与应用介绍
《时代教育》2009年第3期7-8,303,共2页裴文彦 吴福根 林清华 周金运 
项目来源:大学物理省级精品课程;项目来源:大学物理实验和激光原理与技术校级精品课程
对大学物理中的有关光学实验，按照几何光学实验、波动光学实验和近代光学实验进行归类，对其中光的反射、折射、干涉、衍射和偏振以及光电效应和激光全息原理进行了系统的归纳和总结，并对光杠杆、三棱镜分光、牛顿环、光栅衍射、偏振...
关键词：大学物理 光学实验 几何光学 波动光学 近代光学 
实验教学与创新能力的培养研究被引量：1
《吉林省教育学院学报（下旬）》2008年第7期51-51,共1页颜莉 胡峰 裴文彦 
在实验教学中怎样培养学生的创新意识和创新能力,是目前实验教学的重要课题,教师要增强实验意识,努力提高自身素质,以增强学生创新意识和创新能力的培养。
关键词：高校 物理实验 创新能力 
信息技术与大学物理实验课程整合的探索与实践被引量：2
《广东工业大学学报（社会科学版）》2005年第B09期302-304,共3页宁锌 于黎佳 裴文彦 
试验以教学设计理论为指导,应用现代教育技术,进行了信息技术与大学物理实验课程整合的教学设计,并用于实际教学,对于教学内容多与时数少的矛盾、有经验的实验教师少与学生人数多的矛盾以及其他有关教学难点作了初步的探讨。
关键词：信息技术 大学物理 实验课程 课程整合 多媒体 
新形势下大学物理实验面临的问题与对策被引量：9
《广东工业大学学报（社会科学版）》2005年第B09期305-307,共3页裴文彦 宁锌 颜莉 蒋力立 
文章简述了在扩招和大实验平台的新形势下大学物理实验所面临的资源、师资和管理等问题;探讨了多媒体预习、仿真和虚拟远程实验辅助及实验主持人负责等相应的对策。
关键词：大学物理实验 仿真 多媒体 实验平台 
基于APD半导体制冷供能电路设计
《现代电子技术》2005年第11期25-26,29,共3页裴文彦 周金运 
雪崩光电二极管(APD)作为高灵敏光探测器件,为降低暗电流噪声需要半导体热电制冷器来降低其工作环境温度。用于制冷器的能源供应以及恒温控制的开关电源是该制冷系统重要的支持性配置,从半导体热电制冷控制需要电源功率输出较大、稳定...
关键词：开关电源 雪崩光电二极管(APD) 脉宽调制(PWM) 半导体热电制冷(TEC) 
全选清除导出
共2页<12>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部