褚巍

作品数：18被引量：36H指数：3
导出分析报告
供职机构：哈尔滨工业大学机电工程学院更多>>
发文主题：原子力显微镜AFM线宽线边缘粗糙度微机电系统更多>>
发文领域：机械工程一般工业技术电子电信金属学及工艺更多>>
发文期刊：《液压与气动》《计量学报》《光电子．激光》《哈尔滨工业大学学报》更多>>
所获基金：教育部留学回国人员科研启动基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
刻线边缘表面重构及其边缘粗糙度测量被引量：2
《光电子．激光》2009年第12期1635-1640,共6页李洪波 赵学增 褚巍 
给出了一种边缘粗糙度(LER)三维参数评估的方法。采用原子力显微镜(AFM)测量了刻线单侧边缘形貌,根据AFM的工作机理和测量特点重构边缘表面,采用回归分析方法确定了边缘表面的评价基准面。结合集成电路中光刻工艺的具体需求,提出了能够...
关键词：原子力显微镜(AFM) 重构 边缘粗糙度(LER) 三维参数 
基于平稳小波变换的纳米尺度线边缘粗糙度分析方法(英文)被引量：1
《纳米技术与精密工程》2009年第2期147-154,共8页赵学增 李宁 褚巍 周法权 周瑞 
为了解决微电子制造技术中纳米尺度半导体刻线边缘粗糙度(line edge roughness,LER)的测量问题,笔者提出了基于平稳小波变换的线边缘粗糙度分析方法.首先,使用原子力显微镜测量硅刻线形貌,通过图像处理与阈值方法提取出线边缘粗糙度特征...
关键词：纳米测量 线边缘粗糙度 原子力显微镜 平稳小波变换 多尺度分析 
用于减小控制对测量影响的AFM新工作模式被引量：3
《纳米技术与精密工程》2008年第6期442-449,共8页王岳宇 赵学增 褚巍 
中国留学生基金委员会;美国国家标准与技术研究院(NIST)资助项目.
原子力显微镜(atomic force microscope,AFM)是纳米尺度线宽成像和测量的重要工具.但系统的非线性和控制器参数选择的多样性导致AFM控制的不确定性,影响了AFM测量结果的精确性和重复性.为克服这个缺点,分析了AFM的测量原理和工作模式的...
关键词：原子力显微镜 补偿模式 扫描器 悬臂梁 
基于AFM的刻线边缘粗糙度幅值与空间频率的表征方法被引量：1
《纳米技术与精密工程》2008年第5期367-371,共5页李宁 赵学增 褚巍 李洪波 
针对使用原子力显微镜测量纳米尺度半导体刻线边缘粗糙度的参数表征问题进行了研究．在对线边缘粗糙度的定义与现有测量方法进行分析的基础上，采用图像处理技术分析硅刻线的原子力显微镜测量图像的线边缘粗糙度特征，提出了线边缘粗糙...
关键词：纳米测量 线边缘粗糙度 原子力显微镜 小波多分辨分析 
基于表面形貌空间频率特征的AFM操作模式(英文)被引量：1
《纳米技术与精密工程》2008年第4期293-296,共4页王岳宇 赵学增 褚巍 
中国留学生基金委员会和美国国家标准与技术研究院(NIST)资助项目
恒力模式和恒高模式是原子力显微镜的两种主要操作模式.前一种模式通常用于成像在垂直方向变化大的表面,但仅对低空间频率表面有效.后一种模式仅对光滑表面在高分辨率高扫描速度下的成像有用.为克服这些缺点,提出了组合恒高和恒力的新...
关键词：原子力显微镜 操作模式 线宽测量 空间频率 
基于计量学的线边缘粗糙度定义被引量：4
《机械工程学报》2007年第1期214-218,共5页赵学增 李洪波 褚巍 肖增文 李宁 
2003年教育部留学回国人员科研启动基金;哈尔滨工业大学校基金(HIT.2002.28)资助项目
对目前线边缘粗糙度(Line edge roughness,LER)的研究进行了分类,区分线宽变化率、线的边缘粗糙度和侧墙(边缘)粗糙度的物理本质。重新给出一个LER定义,定义LER是由加工工艺和材料本身结构引起的刻线侧墙的表面形貌微观不规则程度,并分...
关键词：纳米计量 临界尺寸 线边缘粗糙度 材料本质粗糙度 扫描电子显微镜(SEM) 原子力显微镜(AFM) 
基于子波分析的线边缘粗糙度表征参数研究
《哈尔滨工业大学学报》2006年第4期532-534,545,共4页李洪波 赵学增 褚巍 李宁 
分析了现有线边缘粗糙度(L ine Edge Roughness,LER)表征参数的不足,针对二维LER的表征参数信息量缺失,提出了基于子波中面的LER参数表征.子波理论给LER的综合评定提供了恰当的工具.利用子波在空间和频率域内都具有的定位特性,可以在任...
关键词：临界尺寸 纳米计量 刻线边缘粗糙度 多分辨分析 
运动边界问题流场仿真技术的发展被引量：7
《液压与气动》2005年第10期5-8,4,共5页刘长运 赵学增 陈芳 褚巍 王伟杰 
在液压气动、航空航天等领域中,经常需要对可变几何区域内的流场进行仿真计算,即要处理运动边界流场仿真问题。这一问题是目前计算流体力学研究中的难点和热点,该文主要介绍了当前研究该问题的两个不同思路:网格法和无网格法,并对这两...
关键词：运动边界 流场仿真 网格法 无网格法 
半导体工业中临界尺寸线边缘粗糙度的测量被引量：5
《哈尔滨工业大学学报》2005年第5期674-678,共5页李洪波 赵学增 褚巍 肖增文 
详细论述了刻线边缘粗糙度问题的产生原因,线边缘粗糙度的定义以及目前采用的测量方法和分析方法,比较了线边缘粗糙度的测量工具,并讨论了测量线边缘粗糙度的技术障碍.
关键词：纳米 侧墙粗糙度 线边缘粗糙度 原子力显微镜 
纳米尺度表面形貌测量的双图像拼接法被引量：2
《机械工程学报》2005年第9期166-170,174,共6页褚巍 赵学增 Joseph Fu Theodore V.Vorburger 
中国留学生基金委员会资助项目;美国国家标准与技术研究院(NIST)资助项目。
与传统探针相比,使用碳纳米管探针能探测到更精细的样本表面形貌,为减小针尖形貌和尺寸造成的测量误差提供了一个良好途径。然而,在普通探针上黏贴碳纳米管时总是难以避免地出现一个倾斜角度,它使得对刻线样本进行测量时只能获得单侧较...
关键词：原子力显微镜 碳纳米管 双图像拼接法 图像配准 
全选清除导出
共2页<12>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部