谭六喜

作品数：4被引量：11H指数：2
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氮化硅薄膜传感器的平面加工工艺研究被引量：1
《传感器与微系统》2008年第2期59-60,64,共3页谭六喜 赵根宝 刘胜 徐勇 冷毅 姚媛 
介绍一种以氮化硅薄膜为压力敏感膜、多晶硅为电阻应变计的压力传感器。该压力传感器先后采用2种不同的平面加工工艺进行加工,实际结果表明:改进后的工艺比较好。通过采用对称分布在一个敏感膜上的4只多晶硅电阻应变计串联组成惠斯通电...
关键词：多晶硅 氮化硅 平面加工工艺 过载保护 
压力传感器封装中波纹膜片的结构优化被引量：5
《传感器与微系统》2007年第7期80-81,84,共3页付兴铭 谭六喜 姚媛 刘胜 
对压力传感器隔离封装中的关键部件——波纹膜片,采用有限元分析的方法,分别得到了2,4,6个波纹的膜片的弹性特性,并根据封装要求选择了6波纹的膜片。通过比较不同波数的膜片对压力传感器输出信号的影响,验证了膜片结构优化的正确性。最...
关键词：压力传感器 波纹膜片 封装 有限元分析 
气压传感器中保护材料硅凝胶的优化设计被引量：2
《传感器世界》2007年第1期21-23,共3页陈思远 罗玉峰 谭六喜 姚媛 刘胜 
在实际生产中,芯片保护材料的选择和厚度的设计是气体压力传感器封装中的重要问题。本文讨论了芯片保护材料硅凝胶在热循环过程中对压力芯片性能的影响,把膜片上最大等效应力作为优化设计的目标函数,研究了硅凝胶的厚度和与膜片上最大Vo...
关键词：MEMS 压力传感器 硅凝胶 优化设计 
螺管线圈传感器的线性范围研究被引量：3
《传感器技术》2004年第8期15-17,共3页谭六喜 杨曙年 
应用数值分析方法,研究了通电螺管线圈的绕制螺距与螺管线圈内部磁场感应强度分布之间的对应规律;提出采用按特定规律的变螺距螺管线圈,而不用传统均匀密绕的螺管线圈,电感位移传感器的线性输出范围与螺管线圈整体长度之比可以加大。实...
关键词：电感传感器 线性输出 数值分析 
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