王君雄

作品数:3被引量:9H指数:2
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供职机构:江苏大学机械工程学院更多>>
发文主题:纳米硅薄膜纳米硅掺硼AFM薄膜微结构更多>>
发文领域:理学自动化与计算机技术更多>>
发文期刊:《机床与液压》《真空科学与技术学报》《真空》更多>>
所获基金:江苏省“六大人才高峰”高层次人才项目国家教育部博士点基金国家自然科学基金更多>>
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六自由度机器人避障问题的MATLAB仿真被引量:2
《机床与液压》2010年第9期89-90,106,共3页施琴 马履中 刘翊 王君雄 
国家自然科学基金资助项目(50375067);高等学校博士点专项科研基金资助项目(20050299002)
针对六自由度机器人的避障问题提出了随机避障的数学模型,该模型具有简单高效且具通用性。利用MATLAB进行模拟仿真,建立了可视化平台。模拟结果表明利用随机避障模型能够有效地实现避障。
关键词:机器人 避障 MATLAB仿真 
掺磷纳米硅薄膜的制备及介观力学性质与介观接触电阻的研究被引量:2
《真空》2009年第6期47-50,共4页王君雄 丁建宁 程广贵 袁宁一 何宇亮 坎标 潘海滨 
采用PECVD法制备的纳米硅薄膜是一种具有特殊性能的人工材料。它是由大量具有纳米量级的硅微晶粒构成,纳米硅晶粒镶嵌在由非晶硅构成网络中,其晶粒所占的体积百分比为XC≈50%,从而决定了其特有的性质。本文通过严格控制薄膜生长的工艺参...
关键词:纳米硅薄膜 掺磷 纳米接触电流 纳米压痕 
工艺条件对硼掺杂纳米硅薄膜微结构及力学性能的影响被引量:5
《真空科学与技术学报》2009年第2期188-193,共6页丁建宁 祁宏山 袁宁一 何宇亮 程广贵 范真 潘海彬 王君雄 王秀琴 
江苏省“六大人才高峰”资助项目(No.06-D-022)
采用射频和直流偏压(RF+DC)双重激励源,在等离子体增强化学气相沉积(PECVD)系统中成功制备了掺硼纳米硅薄膜。改变衬底温度、射频功率和退火温度几个关键工艺参数,利用拉曼(Raman)谱仪、薄膜测厚仪和原子力显微镜(AFM)对掺硼纳米硅薄膜...
关键词:纳米硅薄膜 掺硼 弹性模量 退火 AFM 
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