刘炳龙

作品数：3被引量：2H指数：1
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供职机构：合肥工业大学理学院更多>>
发文主题：ZNO薄膜PLD原子力显微镜脉冲激光沉积氧化锌薄膜更多>>
发文领域：理学电子电信一般工业技术更多>>
发文期刊：《真空与低温》《材料导报（纳米与新材料专辑）》更多>>
所获基金：安徽省自然科学基金更多>>
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PLD法制备氧化锌薄膜生长机制及发光特性的研究被引量：1
《材料导报（纳米与新材料专辑）》2008年第1期69-71,共3页谢可可 仇旭升 孔明光 刘炳龙 汪壮兵 于永强 章伟 梁齐 
教育部留学归国人员实验室建设项目(新型微电子薄膜研究室)
利用PLD法在Si衬底上成功地制备了具有较好C轴择优取向生长的ZnO薄膜,从样品的XRD谱可以看出在环境氧压为20Pa,衬底温度为700℃时生长的样品的XRD谱(002)峰半高宽较窄,膜的结晶程度最好。不同的衬底温度下膜的生长机制也不一样,主要有:V...
关键词：ZNO薄膜 PLD XRD PL谱 
脉冲激光沉积(PLD)法生长纳米ZnO薄膜的探索
《材料导报（纳米与新材料专辑）》2008年第1期72-74,共3页仇旭升 谢可可 孔明光 汪壮兵 刘炳龙 马渊明 章伟 梁齐 
在Si衬底上用脉冲激光沉积法生长C轴取向高度一致的ZnO纳米薄膜。实验制备ZnO纳米结构,其颗粒尺寸的控制是关键。通过改变衬底温度(400～700℃)和沉积时间,获得不同的ZnO纳米结构。SEM观察,在600℃时颗粒均匀且间隔明显,且该薄膜结构为...
关键词：纳米薄膜 PLD XRD 
新型工艺制备ZnO薄膜的结构与形貌研究被引量：1
《真空与低温》2007年第2期81-84,119,共5页曹冰 何晓雄 李合琴 顾金宝 赵之明 刘炳龙 
安徽省自然科学基金(03044703)资助
采用了一种新型工艺制备ZnO薄膜。新工艺采用二步法,首先在N型Si(100)衬底上用离子束沉积溅射一层金属Zn膜,然后通过热氧化金属Zn膜制备ZnO薄膜。通过X射线衍射、原子力显微镜对不同制备工艺下的ZnO薄膜进行结构与形貌的分析比较。研究...
关键词：ZNO薄膜 X射线衍射 原子力显微镜 
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