赵之明

作品数：8被引量：21H指数：2
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供职机构：合肥工业大学材料科学与工程学院更多>>
发文主题：类金刚石薄膜射频磁控溅射射频磁控反应溅射拉曼光谱掺氮类金刚石薄膜更多>>
发文领域：一般工业技术理学更多>>
发文期刊：《真空科学与技术学报》《真空与低温》《真空》《理化检验（物理分册）》更多>>
所获基金：安徽省自然科学基金更多>>
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掺氮类金刚石薄膜的显微结构和光谱学研究被引量：12
《真空科学与技术学报》2008年第3期225-229,共5页李合琴 何晓雄 王淑占 巫邵波 赵之明 
安徽省自然科学基金(No.03044703);安徽省红外与低温等离子体重点实验室资助(No.2007C002107D)
本文利用射频磁控溅射法,以高纯N2、Ar混合气体为溅射气体,用高纯石墨靶在Si(100)基片上制备出掺氮的类金刚石薄膜(DLC∶N)。拉曼光谱(Raman)测试表明该薄膜仍然是类金刚石结构,对其进行拟合后得两个特征峰,分别是在1342.9 cm-1的D峰和1...
关键词：射频磁控反应溅射 掺氮类金刚石薄膜 X射线光电子能谱 拉曼光谱 傅里叶变换红外透射光谱 扫描电子显微镜 
射频磁控反应溅射制备ZnO/AlN双层膜的结构和性能
《理化检验（物理分册）》2008年第2期71-74,93,共5页巫邵波 李合琴 王淑占 顾金宝 赵之明 
安徽省自然科学基金(03044703);安徽省红外与低温等离子体重点实验室(2007C002107D)
采用射频磁控反应溅射在Si(100)衬底上制备了ZnO/AlN双层膜。使用X射线衍射仪、原子力显微镜(AFM)、LCR测试仪及荧光分光光度计等仪器对样品进行了结构、表面形貌、导电性及荧光光谱的测试,并与相同工艺下制备的ZnO单层薄膜进行了对比...
关键词：射频磁控反应溅射 缓冲层 表面形貌 电阻率 荧光光谱 
掺氮类金刚石薄膜的制备及其结构表征被引量：1
《真空》2008年第1期64-67,共4页王淑占 李合琴 巫邵波 赵之明 宋泽润 
安徽省自然科学基金(03044703);安徽省红外与低温等离子体重点实验室资助(2007C002107D)
采用射频磁控反应溅射法,Ar气为溅射气体,N2气为反应气体,用高纯石墨靶在Si(100)片上制备了掺氮类金刚石薄膜,采用X射线光电子能谱(XPS)、拉曼光谱(Raman)、扫描电子显微镜(SEM),表征了掺氮类金刚石薄膜的微观结构、表面及截面形貌。Ra...
关键词：射频磁控反应溅射 掺氮类金刚石薄膜 拉曼光谱 X射线光电子能谱 扫描电子显微镜 
类金刚石薄膜的制备及其电阻率、光谱特性研究
《真空》2007年第6期48-51,共4页赵之明 李合琴 顾金宝 
安徽省自然科学基金(03044703)资助
采用射频磁控溅射法在单晶硅表面制备了类金刚石薄膜;对薄膜的电阻率进行了测量,研究了薄膜的溅射工艺参数,采用拉曼光谱、原子力显微镜、扫描电镜分析了薄膜的结构、表面形貌以及薄膜的截面形貌。结果表明,薄膜中含有sp2、sp3杂化碳原...
关键词：类金刚石薄膜 电阻率 射频磁控溅射 拉曼光谱 
射频与直流磁控溅射制备DLC薄膜的工艺研究及特性对比被引量：1
《真空与低温》2007年第3期138-141,共4页王淑占 李合琴 赵之明 巫邵波 顾金宝 宋泽润 
安徽省自然科学基金(03044703);安徽省红外与低温等离子体重点实验室资助
采用直流与射频磁控溅射技术,用高纯石墨在单晶硅(100)表面制备了类金刚石薄膜(DLC)。采用拉曼光谱、扫描电镜分析了薄膜的结构、表面和截面形貌,以及与溅射工艺的关系,并且对溅射过程中粒子输运机理进行了解释。结果表明,2种溅射方法...
关键词：类金刚石薄膜 射频磁控溅射 直流磁控溅射 拉曼光谱 扫描电镜 
新型工艺制备ZnO薄膜的结构与形貌研究被引量：1
《真空与低温》2007年第2期81-84,119,共5页曹冰 何晓雄 李合琴 顾金宝 赵之明 刘炳龙 
安徽省自然科学基金(03044703)资助
采用了一种新型工艺制备ZnO薄膜。新工艺采用二步法,首先在N型Si(100)衬底上用离子束沉积溅射一层金属Zn膜,然后通过热氧化金属Zn膜制备ZnO薄膜。通过X射线衍射、原子力显微镜对不同制备工艺下的ZnO薄膜进行结构与形貌的分析比较。研究...
关键词：ZNO薄膜 X射线衍射 原子力显微镜 
离子束溅射与射频溅射制备的ZnO薄膜的特性分析被引量：1
《理化检验（物理分册）》2007年第1期15-18,共4页顾金宝 李合琴 赵之明 
安徽省自然科学基金(03044703)
分别采用两种不同的方法制备了ZnO薄膜。①离子束溅射法(IBD),在Si(001)衬底上制备锌膜后在氧气氛炉中退火;②射频溅射法(RF),在Si(001)衬底上制备ZnO薄膜后在氧气氛炉中退火。利用X射线衍射仪和原子力显微镜(AFM)以及电感、电容、电阻...
关键词：离子束沉积 射频磁控溅射 结构 形貌 
射频磁控溅射制备类金刚石薄膜的特性被引量：5
《真空与低温》2006年第4期215-218,237,共5页赵之明 李合琴 顾金宝 宋泽润 
安徽省自然科学基金(03044703)资助
采用射频磁控溅射技术,用高纯石墨靶在单晶硅片、抛光不锈钢片上制备了类金刚石薄膜(DLC)。采用Raman光谱、原子力显微镜、显微硬度分析仪,表征了类金刚石薄膜的微观结构、表面形貌、硬度。结果表明,制备的类金刚石薄膜中含sp2、sp3杂...
关键词：射频磁控溅射 类金刚石薄膜 拉曼光谱 原子力显微镜 显微硬度 
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