王淑占

作品数：4被引量：14H指数：1
导出分析报告
供职机构：合肥工业大学材料科学与工程学院更多>>
发文主题：掺氮类金刚石薄膜射频磁控反应溅射X射线光电子能谱扫描电子显微镜显微结构更多>>
发文领域：一般工业技术理学更多>>
发文期刊：《真空科学与技术学报》《真空与低温》《真空》《理化检验（物理分册）》更多>>
所获基金：安徽省自然科学基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-4
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
掺氮类金刚石薄膜的显微结构和光谱学研究被引量：12
《真空科学与技术学报》2008年第3期225-229,共5页李合琴 何晓雄 王淑占 巫邵波 赵之明 
安徽省自然科学基金(No.03044703);安徽省红外与低温等离子体重点实验室资助(No.2007C002107D)
本文利用射频磁控溅射法,以高纯N2、Ar混合气体为溅射气体,用高纯石墨靶在Si(100)基片上制备出掺氮的类金刚石薄膜(DLC∶N)。拉曼光谱(Raman)测试表明该薄膜仍然是类金刚石结构,对其进行拟合后得两个特征峰,分别是在1342.9 cm-1的D峰和1...
关键词：射频磁控反应溅射 掺氮类金刚石薄膜 X射线光电子能谱 拉曼光谱 傅里叶变换红外透射光谱 扫描电子显微镜 
射频磁控反应溅射制备ZnO/AlN双层膜的结构和性能
《理化检验（物理分册）》2008年第2期71-74,93,共5页巫邵波 李合琴 王淑占 顾金宝 赵之明 
安徽省自然科学基金(03044703);安徽省红外与低温等离子体重点实验室(2007C002107D)
采用射频磁控反应溅射在Si(100)衬底上制备了ZnO/AlN双层膜。使用X射线衍射仪、原子力显微镜(AFM)、LCR测试仪及荧光分光光度计等仪器对样品进行了结构、表面形貌、导电性及荧光光谱的测试,并与相同工艺下制备的ZnO单层薄膜进行了对比...
关键词：射频磁控反应溅射 缓冲层 表面形貌 电阻率 荧光光谱 
掺氮类金刚石薄膜的制备及其结构表征被引量：1
《真空》2008年第1期64-67,共4页王淑占 李合琴 巫邵波 赵之明 宋泽润 
安徽省自然科学基金(03044703);安徽省红外与低温等离子体重点实验室资助(2007C002107D)
采用射频磁控反应溅射法,Ar气为溅射气体,N2气为反应气体,用高纯石墨靶在Si(100)片上制备了掺氮类金刚石薄膜,采用X射线光电子能谱(XPS)、拉曼光谱(Raman)、扫描电子显微镜(SEM),表征了掺氮类金刚石薄膜的微观结构、表面及截面形貌。Ra...
关键词：射频磁控反应溅射 掺氮类金刚石薄膜 拉曼光谱 X射线光电子能谱 扫描电子显微镜 
射频与直流磁控溅射制备DLC薄膜的工艺研究及特性对比被引量：1
《真空与低温》2007年第3期138-141,共4页王淑占 李合琴 赵之明 巫邵波 顾金宝 宋泽润 
安徽省自然科学基金(03044703);安徽省红外与低温等离子体重点实验室资助
采用直流与射频磁控溅射技术,用高纯石墨在单晶硅(100)表面制备了类金刚石薄膜(DLC)。采用拉曼光谱、扫描电镜分析了薄膜的结构、表面和截面形貌,以及与溅射工艺的关系,并且对溅射过程中粒子输运机理进行了解释。结果表明,2种溅射方法...
关键词：类金刚石薄膜 射频磁控溅射 直流磁控溅射 拉曼光谱 扫描电镜 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部