掺氮类金刚石薄膜

作品数：17被引量：63H指数：5
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相关作者：张伟丽王林军居建华夏义本黄志明更多>>
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相关期刊：《摩擦学学报（中英文）》《半导体光电》《哈尔滨工业大学学报》《功能材料》更多>>
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高功率脉冲磁控溅射技术制备掺氮类金刚石薄膜的磨蚀性能被引量：6
《物理学报》2020年第10期203-213,共11页沈永青 张志强 廖斌 吴先映 张旭 华青松 鲍曼雨 
广东省重点领域研发计划(批准号:2019B090909002);国家科技重大专项(批准号:2017-VII-0012-0108);国家自然科学基金联合基金(批准号:U1865206)资助的课题.
掺氮类金刚石薄膜在生物应用中很有前景,研究其摩擦和腐蚀的协同作用有很大的实际意义.论文使用高功率脉冲磁控溅射(high-power impulse magnetron sputtering,HiPIMS)技术,在奥氏体不锈钢和单晶硅片上以Ar气和氮气为前驱气体,室温下制...
关键词：高功率脉冲磁控溅射 掺氮类金刚石薄膜 磨蚀 腐蚀 
低氮掺杂对含氢类金刚石结构和力学性能的影响被引量：5
《哈尔滨工业大学学报》2019年第5期38-43,共6页杨满中 彭继华 韦宇冲 
广州市科技项目(No.201807010091);广东省省级科技计划项目(No.2015B090923006)
为探讨低氮掺杂对含氢类金刚石组织结构和力学性能的影响.采用非平衡磁控溅射和等离子增强化学气相沉积(PECVD)复合技术,在316不锈钢和硅片上制备碳化钨过渡层和不同掺氮量的含氢类金刚石薄膜(a-C:H(N)).通过拉曼光谱、X射线衍射(XRD)、...
关键词：掺氮类金刚石薄膜 PECVD 碳氮键 sp^3含量 硬度 残余应力 
PECVD制备掺氮类金刚石薄膜的电化学特性被引量：3
《材料研究学报》2014年第3期161-165,共5页周凯 柯培玲 汪爱英 邹友生 
国家重大基础研究计划2012CB933003;国家自然科学基金51371187;宁波市创新团队2011B81001;中央高校基本科研业务费专项资金30920130111019资助项目~~
利用混合离子束系统,通过辉光放电等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法制备出类金刚石薄膜(DLC)和掺氮类金刚石薄膜(N-DLC),用可见拉曼光谱、X射线光电子能谱和扫描探针显微镜表征薄膜微观结构和表面形貌,采用电化学工作站测量了薄膜...
关键词：无机非金属材料 PECVD N—DLC 微观结构 电化学性能 
掺氮类金刚石薄膜的微观结构和光学特性研究被引量：1
《真空》2012年第5期42-44,共3页韩旭 唐吉龙 
吉林省青年基金(20100111)
采用射频等离子增强化学气相沉积法(PECVD)制备掺氮类金刚石薄膜(DLC:N),通过原子力显微镜,拉曼光谱和椭圆偏振光谱等对试验样品进行研究,实验结果表明,在薄膜中,氮元素主要以C=N键的形式存在,起到了降低薄膜内应力,提高薄膜附着力的作...
关键词：类金刚石薄膜 原子力显微镜 拉曼光谱 椭圆偏振光谱 
不同掺氮量的类金刚石薄膜的微观结构及其性能研究被引量：4
《真空科学与技术学报》2009年第S1期77-80,共4页周祎 马胜歌 康光宇 耿漫 
采用激光拉曼光谱、轮廓仪、色差仪、微纳米力学综合测试系统、摩擦磨损试验机等设备,对霍尔等离子体源辅助中频非平衡磁控溅射制备的不同掺氮量的类金刚石薄膜的微观结构及其宏观性能进行了研究。结果表明,随着氩气/氮气流量比的增加,...
关键词：掺氮类金刚石薄膜 微观结构 中频非平衡磁控溅射 霍尔等离子体源 
掺氮类金刚石薄膜的制备与性能研究被引量：7
《真空科学与技术学报》2009年第S1期81-84,共4页霍纯青 边心超 陈强 
利用空心阴极放电在玻璃基底表面沉积掺氮类金刚石(DLC)薄膜。拉曼光谱(Raman)分析表明,所制备的碳膜具有典型的类金刚石结构。扫描电镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)分析了薄膜表面形貌和粗糙度;利用摩擦磨损仪测量膜的摩擦磨损性能。结果...
关键词：辉光放电 空心阴极 掺氮类金刚石薄膜 
掺氮类金刚石薄膜的显微结构和光谱学研究被引量：12
《真空科学与技术学报》2008年第3期225-229,共5页李合琴 何晓雄 王淑占 巫邵波 赵之明 
安徽省自然科学基金(No.03044703);安徽省红外与低温等离子体重点实验室资助(No.2007C002107D)
本文利用射频磁控溅射法,以高纯N2、Ar混合气体为溅射气体,用高纯石墨靶在Si(100)基片上制备出掺氮的类金刚石薄膜(DLC∶N)。拉曼光谱(Raman)测试表明该薄膜仍然是类金刚石结构,对其进行拟合后得两个特征峰,分别是在1342.9 cm-1的D峰和1...
关键词：射频磁控反应溅射 掺氮类金刚石薄膜 X射线光电子能谱 拉曼光谱 傅里叶变换红外透射光谱 扫描电子显微镜 
掺氮类金刚石薄膜的制备及其结构表征被引量：1
《真空》2008年第1期64-67,共4页王淑占 李合琴 巫邵波 赵之明 宋泽润 
安徽省自然科学基金(03044703);安徽省红外与低温等离子体重点实验室资助(2007C002107D)
采用射频磁控反应溅射法,Ar气为溅射气体,N2气为反应气体,用高纯石墨靶在Si(100)片上制备了掺氮类金刚石薄膜,采用X射线光电子能谱(XPS)、拉曼光谱(Raman)、扫描电子显微镜(SEM),表征了掺氮类金刚石薄膜的微观结构、表面及截面形貌。Ra...
关键词：射频磁控反应溅射 掺氮类金刚石薄膜 拉曼光谱 X射线光电子能谱 扫描电子显微镜 
掺氮类金刚石薄膜的纳米力学及纳米摩擦特性研究被引量：13
《摩擦学学报》2005年第6期530-534,共5页张瑞军 马洪涛 
河北省教育厅科研计划资助项目(2002204);燕山大学博士基金资助项目(2001B35)
利用微波电子回旋共振化学气相沉积技术制备了不同氮掺杂量的类金刚石(DLC)薄膜,采用俄歇电子能谱仪、R am an光谱仪和Hys itron型纳米力学测试系统对掺氮类金刚石薄膜的化学成分和结构、纳米力学及其纳米摩擦特性进行研究.结果表明:反...
关键词：类金刚石薄膜 氮含量 纳米力学性能 纳米摩擦特性 
掺氮类金刚石薄膜的电化学C-V研究被引量：3
《Journal of Semiconductors》2004年第10期1264-1268,共5页程翔 陈朝 徐富春 刘铁林 
采用射频等离子体增强化学气相沉积 (RF- PECVD)法携带 N2 或 NH3制备掺氮的类金刚石 (DL C∶ N)薄膜 ,对不同掺杂方法得到 DL C∶ N薄膜进行电化学 C- V测量 .I- V和 C- V曲线表明 ,不论是采用 N2 或是 NH3进行掺杂都得到 n型的 DL C薄...
关键词：掺氮类金刚石薄膜 电化学C—V X射线光电子能谱 
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