顾金宝

作品数：6被引量：8H指数：1
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供职机构：合肥工业大学材料科学与工程学院更多>>
发文主题：射频磁控溅射类金刚石薄膜原子力显微镜拉曼光谱离子束溅射更多>>
发文领域：一般工业技术更多>>
发文期刊：《真空与低温》《真空》《理化检验（物理分册）》更多>>
所获基金：安徽省自然科学基金更多>>
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射频磁控反应溅射制备ZnO/AlN双层膜的结构和性能
《理化检验（物理分册）》2008年第2期71-74,93,共5页巫邵波 李合琴 王淑占 顾金宝 赵之明 
安徽省自然科学基金(03044703);安徽省红外与低温等离子体重点实验室(2007C002107D)
采用射频磁控反应溅射在Si(100)衬底上制备了ZnO/AlN双层膜。使用X射线衍射仪、原子力显微镜(AFM)、LCR测试仪及荧光分光光度计等仪器对样品进行了结构、表面形貌、导电性及荧光光谱的测试,并与相同工艺下制备的ZnO单层薄膜进行了对比...
关键词：射频磁控反应溅射 缓冲层 表面形貌 电阻率 荧光光谱 
类金刚石薄膜的制备及其电阻率、光谱特性研究
《真空》2007年第6期48-51,共4页赵之明 李合琴 顾金宝 
安徽省自然科学基金(03044703)资助
采用射频磁控溅射法在单晶硅表面制备了类金刚石薄膜;对薄膜的电阻率进行了测量,研究了薄膜的溅射工艺参数,采用拉曼光谱、原子力显微镜、扫描电镜分析了薄膜的结构、表面形貌以及薄膜的截面形貌。结果表明,薄膜中含有sp2、sp3杂化碳原...
关键词：类金刚石薄膜 电阻率 射频磁控溅射 拉曼光谱 
射频与直流磁控溅射制备DLC薄膜的工艺研究及特性对比被引量：1
《真空与低温》2007年第3期138-141,共4页王淑占 李合琴 赵之明 巫邵波 顾金宝 宋泽润 
安徽省自然科学基金(03044703);安徽省红外与低温等离子体重点实验室资助
采用直流与射频磁控溅射技术,用高纯石墨在单晶硅(100)表面制备了类金刚石薄膜(DLC)。采用拉曼光谱、扫描电镜分析了薄膜的结构、表面和截面形貌,以及与溅射工艺的关系,并且对溅射过程中粒子输运机理进行了解释。结果表明,2种溅射方法...
关键词：类金刚石薄膜 射频磁控溅射 直流磁控溅射 拉曼光谱 扫描电镜 
新型工艺制备ZnO薄膜的结构与形貌研究被引量：1
《真空与低温》2007年第2期81-84,119,共5页曹冰 何晓雄 李合琴 顾金宝 赵之明 刘炳龙 
安徽省自然科学基金(03044703)资助
采用了一种新型工艺制备ZnO薄膜。新工艺采用二步法,首先在N型Si(100)衬底上用离子束沉积溅射一层金属Zn膜,然后通过热氧化金属Zn膜制备ZnO薄膜。通过X射线衍射、原子力显微镜对不同制备工艺下的ZnO薄膜进行结构与形貌的分析比较。研究...
关键词：ZNO薄膜 X射线衍射 原子力显微镜 
离子束溅射与射频溅射制备的ZnO薄膜的特性分析被引量：1
《理化检验（物理分册）》2007年第1期15-18,共4页顾金宝 李合琴 赵之明 
安徽省自然科学基金(03044703)
分别采用两种不同的方法制备了ZnO薄膜。①离子束溅射法(IBD),在Si(001)衬底上制备锌膜后在氧气氛炉中退火;②射频溅射法(RF),在Si(001)衬底上制备ZnO薄膜后在氧气氛炉中退火。利用X射线衍射仪和原子力显微镜(AFM)以及电感、电容、电阻...
关键词：离子束沉积 射频磁控溅射 结构 形貌 
射频磁控溅射制备类金刚石薄膜的特性被引量：5
《真空与低温》2006年第4期215-218,237,共5页赵之明 李合琴 顾金宝 宋泽润 
安徽省自然科学基金(03044703)资助
采用射频磁控溅射技术,用高纯石墨靶在单晶硅片、抛光不锈钢片上制备了类金刚石薄膜(DLC)。采用Raman光谱、原子力显微镜、显微硬度分析仪,表征了类金刚石薄膜的微观结构、表面形貌、硬度。结果表明,制备的类金刚石薄膜中含sp2、sp3杂...
关键词：射频磁控溅射 类金刚石薄膜 拉曼光谱 原子力显微镜 显微硬度 
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