程保罗

作品数：3被引量：3H指数：1
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供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文主题：加速度传感器静电驱动绝缘工艺微机电系统反应离子更多>>
发文领域：自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《仪表技术与传感器》《Journal of Semiconductors》更多>>
所获基金：上海市科委纳米专项基金国家自然科学基金更多>>
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带有静电自检测功能的高灵敏度加速度传感器被引量：2
《Journal of Semiconductors》2005年第3期547-553,共7页程保罗 李昕欣 王跃林 焦继伟 车录锋 杨恒 戈肖鸿 宋朝晖 
研究了一种带有自检功能的在平面内自限制压阻式加速度传感器.为实现该加速度传感器,提出了一套新的体硅微机械工艺,使用普通硅片取代SOI硅片来制作器件.传感器采用在深槽侧壁(悬臂梁弯曲的表面)制作压阻的方法,灵敏度比在硅表面上制作...
关键词：微机电系统 加速度传感器 自检功能 静电驱动 侧壁扩散 绝缘工艺 
新型侧壁绝缘体硅微机械工艺
《仪表技术与传感器》2005年第1期7-9,共3页程保罗 李昕欣 王跃林 焦继伟 车录锋 张鲲 戈肖鸿 宋朝晖 
国家自然科学基金委资助项目(60204002)
介绍了一种全新的体硅微机械工艺,可以取代SOI硅片而直接在普通硅片上对不同的侧壁电学导通部分进行绝缘。该工艺在DRIE形成的绝缘深沟内进行SiO2绝缘薄膜填充,并用填充后形成的SiO2条对器件侧壁进行电学绝缘。对于该工艺的原理、可能...
关键词：微机电系统 体硅工艺 侧壁扩散 绝缘工艺 加速度传感器 
纳机电探针阵列与压阻式传感器集成技术研究被引量：1
《传感器技术》2004年第1期73-76,共4页杨尊先 程保罗 李昕欣 
上海市纳米专项课题(0111NM077)
给出了纳机电探针阵列与压阻式传感器集成一维阵列器件结构及工作原理;通过理论计算得到该结构的一些主要的特性参数,计算结果与ANSYS模拟结果相符合;并运用微纳机械加工技术制造出该器件。该器件将加热电阻器、压阻式传感器和硅基针尖...
关键词：压阻式传感器 纳机电探针 集成 纳米探针 硅 纳机电系统 
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