周少波

作品数：4被引量：12H指数：2
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供职机构：华中科技大学光电子科学与工程学院光电子工程系更多>>
发文主题：VOVO2相变特性VO2薄膜离子束溅射更多>>
发文领域：一般工业技术电子电信金属学及工艺自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《微纳电子技术》《材料开发与应用》《红外与激光工程》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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相变型VO_2薄膜的制备及其特性的研究被引量：7
《红外与激光工程》2005年第1期27-30,共4页周少波 王双保 陈四海 易新建 
国家自然科学基金资助项目(60106003)
利用反应离子束溅射和后退火工艺制备一种新的相变型VO2薄膜,对该薄膜进行电学测试、XRD和光学透过率的测试。这种工艺制备出的相变型VO2薄膜相变温度更接近室温,XRD显示这种薄膜中有VO2、V2O5成分的存在。对这种薄膜的光学透过率测试表...
关键词：VO2 薄膜 反应离子束溅射 相变特性 薄膜制备 
反应离子束溅射沉积和还原退火工艺制备VO_x多晶薄膜
《材料开发与应用》2004年第6期20-21,29,共3页周少波 王双保 陈四海 易新建 
国家自然科学基金支持(编号:60106003)。
通过反应离子溅射沉积和后退火工艺制备出优质微测辐射热计用的氧化钒薄膜。对薄膜退火前后进行了扫描电子显微镜分析,结果表明,制备的VOx多晶薄膜致密均匀,退火后晶粒尺寸变大。电学测试表明,在室温时薄膜的方块电阻约为50kΩ,电阻温...
关键词：氧化钒薄膜 微测辐射热计 反应离子束溅射 制备参量 
新型VO_2相变薄膜的制备被引量：5
《微纳电子技术》2004年第9期29-31,36,共4页周少波 王双保 陈四海 易新建 熊韬 
国家自然科学基金资助项目(60106003)
采用离子束溅射和退火工艺制备了一种新的相变型薄膜VO2。此种薄膜的方块电阻为120～148kΩ,电阻-温度关系曲线显示该薄膜的相变温度接近室温。SEM分析表明,所制备的薄膜致密均匀。样品的明场透射电子显微图像显示,制备的薄膜是多晶薄膜...
关键词：VO2薄膜 相变 离子束溅射 制备 
应用于MEMS气密性封装测试的微型湿度传感器的设计与制作
《微纳电子技术》2003年第7期251-253,共3页熊韬 易新建 陈四海 陈明祥 周少波 
MEMS器件的封装一直是MEMS技术的难点之一 ,在封装设计中 ,如何测试封装的有效性就显得尤为重要。本文叙述了一种基于MEMS技术的微型湿度传感器的原理、设计以及工艺流程。在其上进行气密性封装 ,则可通过对封装内的湿度测量来判断该封...
关键词：MEMS 气密性封装 测试 微型湿度传感器 设计 制作 光刻 刻蚀 
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