张云鹏

作品数：5被引量：3H指数：1
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供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
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光刻机双面对准精度测量系统被引量：1
《电子工业专用设备》2015年第3期42-45,共4页李霖 贾亚飞 张云鹏 杨建章 
双面对准精度是接触接近式光刻机的关键性能指标,介绍了一种检测此项指标的测量原理及应用该原理研制的双面对准精度测量系统,并对设备的部件构成及控制流程作了叙述。设备实际验证了检测原理,对50、75、100及150 mm圆形基片均可适用。
关键词：测试测量技术 光刻机 双面对准精度 双面对准精度测量系统 
非平面直写式光刻电控系统的研究
《电子工业专用设备》2015年第3期46-51,共6页张云鹏 谢秀镯 宋波 蒲继祖 
阐述一种非平面直写式光刻的电控系统、工作原理及组成,通过高效的控制方法,提高控制精度,实现工艺要求。
关键词：非平面直写式光刻 振镜扫描 PID算法 伺服系统 
非接触间隙检测
《电子工业专用设备》2014年第11期33-35,共3页贾亚飞 蒲继祖 张云鹏 
基于光的分振幅干涉原理,用激光做光源,自行设计了用于接触或接近式曝光工艺中掩模板与基片间的间隙均匀性检测装置,通过实际运用,达到理想效果。
关键词：非接触 光的干涉 间隙检测 
程控式LED光源控制器的设计被引量：1
《电子工业专用设备》2014年第1期45-48,共4页韦薇 宋波 张云鹏 
大多数机器视觉系统都采用高亮度LED作为光源,光源厂家配售的光源控制器往往价格较高。为降低成本,提出一种可由上位机程序控制的LED光源控制器的设计方法,包括控制器的硬件设计和程序设计,并给出一个设计实例。依照此方法设计的控制器...
关键词：LED 程序控制 光源控制器 
基于PMAC的步进电机伺服系统的PID算法研究被引量：1
《电子工业专用设备》2013年第11期42-49,共8页张云鹏 
阐述一种基于PMAC(Programmable Multi-Axis Controller)控制卡的步进电机构成的伺服系统PID(Proportion Integral Derivative)算法。详细的介绍了系统的组成和工作原理,以及PID参数的调节原理和调节方法。我们借助PEW IN TUNING软件,...
关键词：可编程多轴控制器 比例 积分 微分(PID) PID算法 伺服系统 
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