李钟哲

作品数：5被引量：4H指数：1
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供职机构：清华大学理学院化学系更多>>
发文主题：二氧化硅无显影气相光刻氟化氢气相光刻材料更多>>
发文领域：电子电信理学更多>>
发文期刊：《科学通报》《硅酸盐学报》《高分子学报》《高分子通报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金北京市自然科学基金更多>>
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无显影气相光刻(DFVP)研究的进展
《高分子通报》2002年第3期1-4,18,共5页洪啸吟 李钟哲 刘丹 吴兵 卢建平 段生权 陈明 王培清 
国家自然科学基金委的资助 (2 0 0 740 2 1 ;5 963 3 1 1 0 ;5 9473 0 3 1等 ) ;北京市自然科学基金委以及其他单位的支持
无显影气相光刻技术是我国在 1980年发明的一种独特的光刻技术 ,具有不需要显影 ,分辨率高等优点。但它的机理并不清楚。本文介绍十多年来在无显影气相光刻机理研究方面的成果。实验证明 ,无显影气相光刻是以光致光刻胶膜内的诱蚀剂浓...
关键词：无显影气相光刻 光刻胶 二氧化硅 氢氟酸 诱蚀剂 诱蚀机理 刻蚀反应 分辨率 
聚合物在无显影气相光刻工艺中的作用被引量：1
《高分子学报》1994年第2期162-167,共6页洪啸吟 刘丹 李钟哲 董桂荣 
国家自然科学基金;北京市重点自然科学基金
研究了聚合物在无显影气相光刻过程中的作用，由此解释了无显影气相光刻过程中曝光区和非曝光区高腐蚀速度差，高分辨率和高腐蚀纵宽比的原因．
关键词：无显影 气相光刻 诱蚀剂 高聚物 
5-硝基二氢苊在无显影气相光刻中的光致诱蚀作用的研究——5-硝基二氢苊的光氧化反应
《感光科学与光化学》1992年第4期332-339,共8页洪啸吟 刘丹 李钟哲 刘密新 
国家自然科学基金;北京市重点自然科学基金资助项目
5-硝基二氢苊的光氧化作用在无显影气相光刻中起着重要作用。我们通过红外,核磁共振、色质联用等手段对其光氧化产物进行了分析,并合成了有关化合物进行对照,确认5-硝基二氢苊的主要光氧化产物是5-硝基苊、5-硝基二氢苊酮、羟基-5-硝基...
关键词：显影 气相光刻 光氧化 微电子 
光刻中的气相氟化氢与二氧化硅反应的研究被引量：2
《硅酸盐学报》1992年第5期489-492,共4页洪啸吟 李钟哲 郭永宁 董桂荣 
国家自然科学基金资助项目
二氧化硅与气相氟化氢的反应和与氢氟酸的反应不同,当温度高于100℃时,气相氟化氢与裸露的二氧化硅无明显反应,当二氧化硅表面涂上一层特殊聚合物膜时,反应可很快发生。本文在实验的基础上解释了这一具有应用价值的现象。认为在高温下...
关键词：氟化氢 二氧化硅 诱蚀剂 光刻材料 
气相氟化氢与二氧化硅反应的研究被引量：2
《科学通报》1991年第6期477-478,共2页洪啸吟 李钟哲 郭永宁 董桂荣 
国家自然科学基金
氢氟酸(HF的水济液)和SiO_2的反应是一个非常重要的反应,它很容易进行,其结果是生成SiF_4和H_2O.但我们和其他人先后发现在高于100℃时气相HF(包括无水HF和氢氟酸蒸气)
关键词：气相 氟化氢 二氧化硅 
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