王斐

作品数：8被引量：14H指数：2
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供职机构：南开大学更多>>
发文主题：薄膜太阳电池磁控溅射技术反应磁控溅射ZNO薄膜W更多>>
发文领域：电子电信理学电气工程自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《物理学报》《人工晶体学报》《材料导报》《光电子．激光》更多>>
所获基金：中央高校基本科研业务费专项资金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划天津市应用基础与前沿技术研究计划更多>>
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衬底温度对反应磁控溅射W掺杂ZnO薄膜的微观结构及光电性能的影响被引量：5
《物理学报》2012年第23期498-504,共7页张翅 陈新亮 王斐 闫聪博 黄茜 赵颖 张晓丹 耿新华 
国家重点基础研究计划(批准号:2011CBA00705;2011CBA00706;2011CBA00707);国家高技术研究发展计划(批准号:2009AA050602);科技部国际合作项目(批准号:2009DFA62580);天津市应用基础及前沿技术研究计划(批准号:09JCYBJC06900);中央高校基本科研业务费专项资金项目(批准号:65010341)资助的课题~~
采用直流脉冲反应磁控溅射方法生长W掺杂ZnO(WZO)透明导电氧化物薄膜并研究了衬底温度对薄膜微观结构、组分、表面形貌以及光电性能的影响.实验结果表明,WZO薄膜具有良好的(002)晶面择优取向,且适当的衬底温度是制备优质WZO薄膜的关键因...
关键词：反应磁控溅射 ZNO薄膜 W掺杂 衬底温度 
WZO薄膜生长及氧流量对其特性的影响被引量：1
《光电子．激光》2012年第7期1319-1326,共8页张翅 陈新亮 王斐 闫聪博 黄茜 赵颖 张晓丹 耿新华 
国家"973"重点基础研究(2011CBA00705,2011CBA00706,2011CBA00707);国家高技术研究发展计划(2009AA050602);科技部国际合作项目(2009DFA62580);天津市应用基础及前沿技术研究(09JCYBJC06900);中央高校基本科研业务费专项(65010341)资金项目
采用直流脉冲反应磁控溅射方法生长W掺杂ZnO(ZnO:W,即WZO)透明导电氧化物(TCO)薄膜并研究了氧气流量对薄膜微观结构、组分、表面形貌以及光电性能的影响。实验结果表明,WZO薄膜具有良好的(002)晶面择优取向生长,且适当的氧气流量是制备...
关键词：反应磁控溅射 ZNO薄膜 W掺杂 TCO薄膜 氧气流量 太阳电池 
IWO缓冲层对磁控溅射生长绒面HGZO薄膜性能的影响
《光电子．激光》2012年第6期1098-1102,共5页王斐 陈新亮 张翅 黄茜 张德坤 孙建 魏长春 张晓丹 赵颖 耿新华 
国家"973"重点基础研究(2011CBA00705;2011CBA00706;2011CBA00707);天津市应用基础及前沿技术研究计划(09JCYBJC06900);中央高校基本科研业务费专项资金(65010341)资助项目
研究了W掺In2O3(IWO)缓冲层(buffer layer)对磁控溅射直接生长绒面结构H化Ga掺杂ZnO(HGZO)薄膜的微观结构和光电性能的影响。实验发现,加入IWO缓冲层能够有效地增大薄膜表面粗糙度,提高了薄膜光散射能力,薄膜绒度(550nm波长处)由7.05%...
关键词：磁控溅射 H化Ga掺杂ZnO(HGZO)薄膜 W掺In2O3(IWO)缓冲层 绒面结构 薄膜太阳能电池 
反应磁控溅射直接生长绒面结构ZnO：Al-TCO薄膜及其特性研究被引量：1
《光电子．激光》2012年第5期910-914,共5页陈新亮 王斐 耿新华 黄茜 张德坤 魏长春 张晓丹 赵颖 
国家“973”重点基础研究(2011CBA00705,2011CBA00706,2011CBA00707);国家高技术研究发展计划(2009AA050602);科技部国际合作(2009DFA62580);天津市应用基础及前沿技术研究计划(09JCYBJC06900);中央高校基本科研业务费专项(65010341)资助项目
利用反应磁控溅射技术,在玻璃衬底上直接生长获得了"弹坑状"绒面结构的ZnO:Al-TCO薄膜。通过梯度O2生长(GOG,gradual oxygen growth)方法改善ZnO薄膜的透过率和绒度特性,并且具有较好的电学性能。通过优化实验,GOG方法生长ZnO:Al薄膜(...
关键词：磁控溅射技术 ZNO薄膜 绒面结构 梯度O2生长(GDG) 太阳电池 
磁控反应溅射直接生长绒面H化Ga掺杂ZnO-TCO薄膜及其特性研究被引量：2
《光电子．激光》2012年第4期724-729,共6页王斐 陈新亮 耿新华 黄茜 张德坤 孙建 魏长春 张晓丹 赵颖 
国家“973”重点基础研究(2011CBA00705,2011CBA00706,2011CBA00707);国家高技术研究发展计划(2009AA050602);科技部国际合作(2009DFA62580);天津市应用基础及前沿技术研究计划(09JCYBJC06900);中央高校基本科研业务费专项资金(65010341)资助项目
采用直流磁控溅射技术,在玻璃衬底上直接生长出了具有绒面结构的H化Ga掺杂ZnO(HGZO)薄膜。研究了H2流量对薄膜结构、表面形貌及光电特性的影响。实验表明,在溅射过程中引入H2明显改善HGZO薄膜电学性能,并且能够直接获得具有绒面结构的...
关键词：H化Ga掺杂ZnO(HGZO)薄膜 磁控溅射 绒面结构 梯度H2技术 薄膜太阳能电池 
薄膜太阳电池用TCO薄膜制造技术及其特性研究被引量：5
《材料导报》2011年第18期73-77,共5页陈新亮 王斐 闫聪博 李林娜 林泉 倪牮 张晓丹 耿新华 赵颖 
国家重点基础研究发展计划(2011CBA00705;2011CBA00706;2011CBA00707);国家高技术研究发展计划(2009AA050602);天津市应用基础及前沿技术研究计划(09JCYBJC06900);中央高校基本科研业务费专项资金项目(65010341)
阐述了玻璃衬底、柔性衬底透明导电氧化物薄膜(Transparent conductive oxides-TCO)以及硅基薄膜太阳电池应用方面的最新研究成果。绒面结构可以提高薄膜太阳电池效率和稳定性并降低生产成本。磁控溅射技术和LP-MOCVD技术是制造绒面结构...
关键词：镀膜技术 TCO薄膜 绒面结构 高迁移率 缓冲层 梯度掺杂 薄膜太阳电池 
磁控溅射技术室温生长氢化ZnO：Ga薄膜及其特性研究被引量：1
《人工晶体学报》2011年第6期1404-1409,共6页王斐 陈新亮 张翅 张德坤 魏长春 黄茜 张晓丹 赵颖 耿新华 
国家重点基础研究发展计划(973计划)(2011CAA00705,2011CAA00706,2011CAA00707);国家高技术研究发展计划(863计划)(2009AA050602);科技部国际合作项目(N2009DFA62580);天津市应用基础及前沿技术研究计划项目(09JCYBJC06900);中央高校基本科研业务费专项资金项目(65010341)
采用直流脉冲磁控溅射方法,在室温下生长氢化Ga掺杂ZnO薄膜(GZO/H),并通过湿法后腐蚀技术获得绒面结构。研究了室温下H2流量对薄膜结构、光电性能及表面形貌的影响。实验表明,氢化GZO(GZO/H)薄膜具有良好的(002)晶面择优取向生长,引入...
关键词：脉冲磁控溅射 氧化锌 镓掺杂 H2流量 绒面结构 
H_2气对脉冲磁控溅射铝掺杂氧化锌薄膜性能的影响被引量：1
《物理学报》2011年第6期633-639,共7页李林娜 陈新亮 王斐 孙建 张德坤 耿新华 赵颖 
国家重点基础研究发展计划(批准号:2006CB202602,2006CB202603);国家高技术研究发展计划(批准号:2009AA050602);天津市应用基础及前沿技术研究计划(批准号:09JCYBJC06900);中央高校基本科研业务费专项资金资助的课题~~
实验采用脉冲磁控溅射法制备铝掺杂氧化锌(AZO)薄膜.为了进一步提高AZO薄膜的光电性能,在溅射过程中加入一定流量的氢气,以高纯ZnO:Al2O3陶瓷靶为溅射靶材,制备AZO/H透明导电薄膜.通过测试薄膜的结构特性、表面形貌及其光电性能,详细地...
关键词：氧化锌 氢气流量 磁控溅射 太阳电池 
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