潘峰

作品数:12被引量:29H指数:3
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供职机构:成都精密光学工程研究中心更多>>
发文主题:HFO激光损伤SIO激光损伤阈值HFO2薄膜更多>>
发文领域:理学电子电信机械工程自动化与计算机技术更多>>
发文期刊:《光学精密工程》《光学学报》《红外与激光工程》《物理学报》更多>>
所获基金:国家高技术研究发展计划中国工程物理研究院科学技术发展基金中国工程物理研究院电子工程研究所科技创新基金国防科技技术预先研究基金更多>>
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HfO_2-SiO_2混合膜力学性能被引量:2
《红外与激光工程》2018年第9期215-220,共6页卜笑庆 张锦龙 潘峰 刘华松 樊荣伟 
国家自然科学基金委员会与中国工程物理研究院联合基金(U1430130;U1630124);国家自然科学基金(91536111;61235011)
利用离子辅助电子束双源共蒸发工艺方法,制备了SiO_2掺杂含量分别为0、13%、20%、30%、40%和100%的六组HfO_2-SiO_2混合膜。采用纳米压痕法测量了不同组分混合膜的杨氏模量和硬度,并研究了混合膜杨氏模量和硬度随SiO_2含量增长的变化规...
关键词:混合膜 杨氏模量 硬度 应力 纳米压痕 
后处理对HfO_2薄膜光学特性及抗激光损伤阈值的影响被引量:6
《光学精密工程》2016年第12期3000-3004,共5页吴倩 罗晋 潘峰 
基金项目:大口径宽带低色散高阈值膜研制(No.2015AA8044064)
利用电子束蒸发技术制备了氧化铪薄膜,并分别用氧气氛下退火和激光预处理两种后处理方法对样品进行了处理。介绍了两种后处理工艺和相关的设备,测试分析了样品的透过率、吸收和抗激光损伤阈值。对比了两种后处理方法对降低吸收和提高激...
关键词:HFO2薄膜 镀膜技术 后处理 薄膜参数测量 薄膜光学特性 激光损伤阈值 
单发大口径光束下介质膜损伤阈值测试被引量:2
《强激光与粒子束》2015年第5期114-119,共6页刘志超 郑轶 吴倩 潘峰 罗晋 张清华 王健 马平 许乔 
国家高技术发展计划项目
针对传统的激光诱导损伤阈值测试中存在的耗时问题,提出了一种利用单发次、大口径光束的介质膜损伤阈值的快速测定方法。该方法以图像处理为基础,通过坐标变换和栅格压缩,建立了样品辐照区域内损伤分布与光斑强度分布之间的精确对应关...
关键词:激光损伤阈值 介质膜 图像特征提取 大光束 
石英基片精密干冰清洗效果的红外光谱差示法被引量:1
《强激光与粒子束》2014年第11期55-62,共8页张哲 潘峰 唐明 陈松林 
国家高技术发展计划项目
使用红外透过差示光谱法,对低羟基石英基片上的有机物吸收峰进行了定量测量表征。从理论上研究了该方法的可行性和特点,并初步检验了该方法的灵敏度。利用这种手段采集了大量真空精密干冰清洗石英基片的数据,统计发现这些数据能够体现...
关键词:红外光谱 干冰清洗 差示光谱法 傅里叶变换光谱仪 光学镀膜 
激光量热法测量K9基片的表面吸收和体吸收被引量:1
《应用光学》2014年第2期292-296,共5页刘浩 潘峰 陈松林 王震 马平 欧阳升 卫耀伟 
表面抛光可能给K9基片带来额外的杂质和吸收,分离K9基片的表面吸收率与体吸收率有助于改进基片的加工质量和抛光工艺,对抗损伤能力研究具有重要意义。分析了激光量热法测量弱吸收的原理,采用符合ISO 11551要求的激光量热计测量K9基片的...
关键词:激光量热 弱吸收 表面吸收 体吸收 K9基片 
YAG晶体功能薄膜制备
《红外与激光工程》2012年第12期3318-3322,共5页陈松林 马平 刘志超 王震 潘峰 吴倩 罗晋 
国家高技术课题(8042022A)
采用电子束蒸发方法制备Nd:YAG晶体板条功能薄膜,理论设计并镀制具有倏逝膜功能的宽带泵浦光减反膜(808 nm HT)和具有谐波功能的双色膜(808 nm HR,1 064 nm HT)。实验表明:大角度使用条件下的双色膜通带波纹加剧是导致其光谱性能下降的...
关键词:薄膜光学 双色膜 薄膜应力 YAG晶体 激光损伤 
1064nm激光多脉冲下HfO_2/SiO_2高反膜损伤规律被引量:4
《红外与激光工程》2012年第5期1191-1194,共4页刘志超 陈松林 罗晋 潘峰 李树刚 
国家863计划
利用小口径元件损伤测试平台对HfO2/SiO2高反膜的1 064 nm激光多脉冲损伤规律进行了研究。研究结果表明:多脉冲作用下HfO2/SiO2高反膜损伤在形态上主要分为色斑和层裂两类,在一定条件的多发次脉冲作用下,色斑损伤存在向层裂损伤转换的趋...
关键词:损伤形态 损伤增长 S-on-1损伤测试 抗损伤能力 
高损伤阈值双色膜被引量:1
《红外与激光工程》2012年第2期379-382,共4页潘峰 陈松林 马平 王震 刘志超 
国家863计划(2009AA8044022)
结合双色膜的驻波场分布优化膜系设计,以电子束蒸发的方式制备了1 064 nm高透过、532 nm高反射的HfO2/SiO2双色膜。采用1-on-1方式测量了双色膜在基频透过光和倍频反射光的辐照下的损伤阈值,为了研究双色膜在基频和倍频下的损伤机制差异...
关键词:双色膜 驻波场 内保护层 激光损伤 
HfO_2/SiO_2双色膜在1064nm和532nm激光辐照下的损伤特性被引量:3
《强激光与粒子束》2011年第1期75-78,共4页潘峰 陈松林 李海波 马平 王震 
国家高技术发展计划项目
采用电子束蒸发的方式,制备了有氧化硅内保护层和没有氧化硅内保护层的1 064 nm高透过、532 nm高反射的HfO2/SiO2双色膜,测量了它们的光学性能以及在基频和倍频激光辐照下的抗损伤性能。结果表明:氧化硅内保护层提高了双色膜在基频光辐...
关键词:双色膜 内保护层 基频光 倍频光 激光损伤 
SiO_2和HfO_2薄膜光学性能的椭偏光谱测量被引量:1
《光学与光电技术》2010年第2期50-53,共4页吴倩 陈松林 马平 王震 罗晋 潘峰 
结合XRD和原子力显微镜等方法,利用椭圆偏振光谱仪测试了单层SiO_2薄膜(K9基片)和单层HfO_2薄膜(K9基片)的椭偏参数,并用Sellmeier模型和Cauchy模型对两种薄膜进行拟合,获得了SiO_2薄膜和HfO_2薄膜在300~800 nm波段内的色散关系。用X...
关键词:薄膜 光学参数 椭偏测量 光谱 
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