周永成

作品数：4被引量：20H指数：3
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供职机构：中国科学院等离子体物理研究所更多>>
发文主题：微波等离子体金刚石薄膜化学气相沉积金刚石微波等离子体化学气相沉积更多>>
发文领域：电子电信一般工业技术金属学及工艺理学更多>>
发文期刊：《真空电子技术》《高技术通讯》《真空与低温》更多>>
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高精度快响应大功率磁控管微波源的研制被引量：3
《真空电子技术》2000年第6期1-4,共4页舒兴胜 邬钦崇 周永成 
提出一种稳定磁控管微波功率源输出功率的方法 ,设计了由半桥型开关电源和非可控三相桥式整流器串联组成的高精度快响应的大功率磁控管微波源系统 ,并结合实验分析了系统的性能指标。
关键词：磁控管 微波功率源 输出功率 开关电源 整流器 
WC-Co 硬质合金表面 MW-PCVD 制备金刚石薄膜去钴预处理的研究被引量：7
《高技术通讯》1998年第4期35-38,共4页俞世吉 邬钦崇 张志明 周永成 汪建华 
863计划资助项目
研究了ＷＣ－Ｃｏ硬质合金刀具表面微波等离子体化学气相沉积（ＭＷ－ＰＣＶＤ）制备金刚石薄膜时不同的去钴预处理方式的影响。扫描电子显微镜形貌观察和喇曼谱分析表明，利用氢－氧等离子体处理方式有显著的去钴效果，相应沉积获得的...
关键词：硬质合金 MW-PCVD 金刚石薄膜 去钴预处理 
新型微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜装置被引量：9
《真空与低温》1998年第1期35-37,共3页吕庆敖 邬钦崇 隋毅峰 匡靖安 周永成 俞世吉 王守国 
微波等离子体化学气相沉积（ＭＰＣＶＤ）是制备金刚石薄膜的一种重要方法。为了获得金刚石薄膜的高速率大面积沉积，在国内首次研制成功了５ｋＷ带有石英真空窗的天线耦合水冷却不锈钢反应室式ＭＰＣＶＤ装置。初步用该装置成功在硅基...
关键词：微波等离子体 化学气相沉积 金刚石 薄膜 
用发射天线式微波等离子体CVD装置沉积大面积金刚石薄膜被引量：2
《高技术通讯》1994年第11期14-16,共3页王建军 吕反修 邬钦崇 隋毅峰 周永成 
863计划资助项目
在国内首次研制成功了高气压发射天线式微波等离子体辅助化学气相沉积金刚石薄膜装置，用该装置成功地在３英寸的单晶硅衬底上沉积了Φ７０ｍｍ的金刚石薄膜。这一成果填补了国内空白，对我国金刚石薄膜研究领域的设备更新换代和开发应...
关键词：金刚石薄膜 气相沉积 微波 等离子体 沉积 
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