孙贤开

作品数：4被引量：24H指数：2
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供职机构：中国科学技术大学物理学院物理系更多>>
发文主题：ZNO薄膜LP-MOCVD氧化锌薄膜拉曼光谱应力更多>>
发文领域：理学电子电信更多>>
发文期刊：《发光学报》《物理学报》《人工晶体学报》《Journal of Semiconductors》更多>>
所获基金：国家自然科学基金中国科学院知识创新工程更多>>
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CVD两步法生长ZnO薄膜及其光致发光特性被引量：5
《发光学报》2006年第5期792-796,共5页孟祥东 林碧霞 洪亮 朱俊杰 孙贤开 徐瑾 傅竹西 
国家自然科学基金(90201038;50472009;10474091);中国科学院知识创新方向性课题(KJCX2-SW-04-02)资助项目
用CVD两步法在常压下于p型Si（100）衬底上沉积出具有较好择优取向的多晶ZnO薄膜。在325nm波长的光激发下，室温下可观察到显著的紫外光发射（峰值波长381nm）。高温退火后氧空位缺陷浓度增加，出现了一个450—600nm的绿光发光带，发光...
关键词：两步法常压CVD ZNO薄膜 光致发光 发光机制 
Effect of Lattice Mismatch on Luminescence of ZnO/Si Hetero-Structure被引量：2
《Journal of Semiconductors》2006年第2期239-244,共6页傅竹西 孙贤开 朱俊杰 林碧霞 
国家自然科学基金(批准号:90201038,50472009,10474091);中国科学院知识创新工程(批准号:KJCX2-SW-04-02)资助项目~~
The photoluminescence （PL） and Raman spectra of undoped ZnO films deposited directly on Si substrate （sample A）,on Si substrate through a SiC buffer layer （sample B）,and on a ZnO crystal wafer （sample C） are i...
关键词：ZnO/Si hetero-structure LUMINESCENCE lattice mismatch biaxial tensile strain 
LP-MOCVD异质外延ZnO薄膜中的应力及对缺陷的影响被引量：16
《物理学报》2005年第6期2899-2903,共5页孙贤开 林碧霞 朱俊杰 张杨 傅竹西 
国家自然科学基金项目(批准号:90201038;50132040;50472009;10474091);中国科学院知识创新工程项目(批准号:KJCX2-SW-04-02)资助的课题.~~
利用低压金属有机化学气相淀积(LP MOCVD)在Si基片上外延生长ZnO薄膜,制备了两类样品一类是在Si上直接外延ZnO,另一类是在Si上通过SiC过渡层来外延ZnO.根据两类样品的拉曼光谱、x射线衍射、原子力显微图和光致发光的结果,表明ZnO外延薄...
关键词：氧化锌薄膜 外延应力 拉曼光谱 结构缺陷 
硅基片上异质外延SiC的机理研究(英文)被引量：1
《人工晶体学报》2004年第4期545-548,共4页朱俊杰 林碧霞 孙贤开 郑海务 姚然 傅竹西 
theNationalNaturalScienceFoundationofChina (No .90 2 0 1 0 38,50 1 32 0 4 0 )
本文利用低压高温MOCVD系统 ,成功地在Si(111)基片上外延出了具有高质量的SiC薄膜 ,并对其反应机理做了一些初步的研究。大部分观点认为 ,SiC/Si的异质外延 ,其最初的状态应该为Si衬底中Si的扩散。但是 ,本文通过在不同流量比的条件下 ,...
关键词：硅基片 异质外延 SIC薄膜 SI(111)衬底 低压MOCVD SIH4 碳化硅 硅烷 结晶 
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