SI(111)衬底

作品数:41被引量:90H指数:6
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相关作者:郑有炓韩平张荣徐彭寿修向前更多>>
相关机构:中国科学院南京大学中国科学技术大学浙江大学更多>>
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Si(111)衬底上Mg_(2)Si薄膜的XRD和拉曼光谱研究
《固体电子学研究与进展》2021年第5期376-381,共6页廖杨芳 谢泉 
贵州省科技计划项目(黔科合基础[2019]1225号);贵州师范大学资助博士科研项目(GZNUD[2018]15号)。
采用磁控溅射方法在Si(111)衬底上分别沉积不同厚度的Mg膜,然后低真空退火处理得到结晶良好的Mg_(2)Si薄膜。一定条件下,Mg膜的最优沉积厚度为2300 nm,对应的Mg_(2)Si(220)衍射峰最强。所有样品均出现256 cm^(-1)附近的拉曼散射峰,该峰...
关键词:Mg_(2)Si 薄膜 硅衬底 X射线衍射 扫描电子显微镜 拉曼 
半导体所在石墨烯上外延深紫外LED研究中取得新进展
《高科技与产业化》2019年第6期74-74,共1页
国家重点研发计划;国家自然科学基金;北京市自然基金的支持。
深紫外LED可以广泛应用于杀毒、消菌、印刷和通信等领域,国际水俣公约的提出,促使深紫外LED的全面应用更是迫在眉睫,但是商业化深紫外LED不到10%的外量子效率严重限制了深紫外LED的应用。AlN材料质量是深紫外LED的核心因素之一,AlN薄膜...
关键词:深紫外 LED SI(111)衬底 金属有机化学气相沉积 石墨烯 半导体 ALN薄膜 异质外延生长 
Si(111)衬底切偏角对GaN基LED外延膜的影响被引量:2
《发光学报》2015年第4期466-471,共6页武芹 全知觉 王立 刘文 张建立 江风益 
国家自然科学基金(11364034);江西省科技支撑计划(20141BBE50035)资助项目
利用金属有机化学气相沉积(MOCVD)方法在具有偏角(0°~0.9°)的Si(111)衬底上生长了Ga N薄膜。采用高分辨X射线衍射(HRXRD)对Si衬底的偏角进行了精确的测量,利用HRXRD、原子力显微镜(AFM)以及光致发光(PL)对外延薄膜的晶体质量、量子阱...
关键词:SI衬底 偏角 GaN MOCVD 
Si(110)和Si(111)衬底上制备InGaN/GaN蓝光发光二极管被引量:1
《物理学报》2014年第20期306-313,共8页刘战辉 张李骊 李庆芳 张荣 修向前 谢自力 单云 
国家自然科学基金青年科学基金(批准号:21203098;2013g130);南京信息工程大学校科研启动基金(批准号:2013x023)资助的课题~~
分别在Si(110)和Si(111)衬底上制备了In Ga N/Ga N多量子阱结构蓝光发光二极管(LED)器件.利用高分辨X射线衍射、原子力显微镜、室温拉曼光谱和变温光致发光谱对生长的LED结构进行了结构表征.结果表明,相对于Si(111)上生长LED样品,Si(110...
关键词:硅衬底 INGAN/GAN多量子阱 发光二极管 
Room temperature ferromagnetism of nonmagnetic element Ca-doped LiNbO_3 films
《Optoelectronics Letters》2014年第2期115-118,共4页刘华蕊 李敏 孙鹏 王诗琪 金鑫 孙现科 安玉凯 刘技文 
supported by the National Natural Science Foundation of China(Nos.11174217 and 10904110)
The nonmagnetic element Ca-doped LiNbO3 films were prepared on Si(111) substrates by radio frequency(RF) magnetron sputtering technique. X-ray diffraction(XRD) and X-ray photoelectron spectroscopy(XPS) indicate that t...
关键词:铌酸锂薄膜 钙掺杂 铁磁性 非磁性 室温 元素 SI(111)衬底 LiNbO3薄膜 
Si(111)衬底上生长的ZnO薄膜的光学特性研究
《广州化工》2011年第9期10-11,26,共3页宿世臣 胡灿栋 牛犇 
国家自然科学基金(60976036);广东省自然科学基金(8151806001000009);广东省育苗项目(LYM10063)项目资助
利用等离子体分子束外延(P-MBE)设备在S i(111)衬底上制备了高质量的ZnO薄膜。通过扫描电镜观察了ZnO薄膜的表面形貌为的六角结构。X射线衍射谱显示ZnO薄膜为c轴择优取向的,ZnO(002)取向X射线衍射峰的最大半宽度仅0.18°。并通过室温和...
关键词:ZNO SI 光致发光 
Si(111)衬底上多层石墨烯薄膜的外延生长被引量:5
《无机材料学报》2011年第5期472-476,共5页李利民 唐军 康朝阳 潘国强 闫文盛 韦世强 徐彭寿 
国家自然科学基金(50872128)~~
利用固源分子束外延(SSMBE)技术,在Si(111)衬底上沉积碳原子外延生长石墨烯薄膜,通过反射式高能电子衍射(RHEED)、红外吸收谱(FTIR)、拉曼光谱(RAMAN)和X射线吸收精细结构谱(NEXAFS)等手段对不同衬底温度(400、600、700、800℃)生长的...
关键词:固源分子束外延 SI(111)衬底 石墨烯薄膜 
Si(111)衬底上HVPE GaN厚膜生长被引量:1
《功能材料》2011年第3期509-511,515,共4页颜怀跃 修向前 华雪梅 刘战辉 周安 张荣 谢自力 韩平 施毅 郑有炓 
国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(2006CB6049);国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2009AA03A198);国家自然科学基金资助项目(60721063,60820106003,60731160628);南京大学扬州光电研究院基金资助项目(2008008)
在Si(111)衬底上,以MOCVD方法高温外延生长的AlN为缓冲层,使用氢化物气相外延(HVPE)方法外延生长了15μm的c面GaN厚膜。并利用X射线衍射(XRD)、光致发光谱(PL)、拉曼光谱(Raman)等技术研究了GaN厚膜的结构和光学性质。分析结果表明,GaN...
关键词:氢化物气相外延 HVPE SI GAN 
Si(111)衬底上六方YMnO_3薄膜的制备与铁电性质
《材料导报》2010年第16期18-20,34,共4页刘越峰 郑海务 马兴平 王超 张华荣 顾玉宗 
国家自然科学基金(50802023);河南省科技攻关重点项目(082102270039);河南省高等学校青年骨干教师资助计划(2009GGJS-026);河南省教育厅自然科学研究计划(2008B140003;2009A430002);河南大学科研基金(07YBGG008)
采用化学溶液法在Si(111)衬底上制备了YMnO3薄膜。XRD结果表明,所制备的薄膜为六方纯相YMnO3,且具有部分择优取向生长。以Pt为顶电极,测试了YMnO3薄膜的电滞回线,结果表明,所制备的YMnO3薄膜具有良好的铁电性质。
关键词:六方YMnO3 薄膜 SI(111) 择优生长 电滞回线 
SiC缓冲层对Si表面生长的ZnO薄膜结构和光电性能的改善被引量:3
《发光学报》2009年第6期807-811,共5页康朝阳 赵朝阳 刘峥嵘 孙柏 唐军 徐彭寿 谢家纯 
国家自然科学基金(50532070)资助项目
用脉冲激光沉积(PLD)技术制备了ZnO/SiC/Si和ZnO/Si薄膜并制成了紫外探测器。利用X射线衍射(XRD),光致发光(PL)谱,I-V曲线和光电响应谱对薄膜的结构和光电性能进行了研究。实验结果表明:SiC缓冲层改善了ZnO薄膜的结晶质量和光电性能,其...
关键词:ZNO薄膜 SI(111)衬底 SiC缓冲层 光电性能 
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