丁小柯

作品数：3被引量：8H指数：2
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供职机构：西安理工大学材料科学与工程学院更多>>
发文主题：磁控溅射磁控溅射沉积粗糙度磁控溅射离子镀LANGMUIR探针更多>>
发文领域：金属学及工艺理学一般工业技术更多>>
发文期刊：《材料科学与工程学报》《材料热处理学报》《人工晶体学报》更多>>
所获基金：国家高技术研究发展计划更多>>
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磁场闭合状态对磁控溅射Cr镀层沉积效果的影响差异分析被引量：1
《材料科学与工程学报》2011年第1期25-29,共5页蒋百灵 曹政 丁小柯 鲁媛媛 
国家高技术研究发展计划(863计划)项目基金资助项目(2005AA33H010)
采用磁场完全闭合状态和不闭合状态两种磁场组态分别沉积Cr镀层,并利用Langmuir探针诊断其放电等离子体,测量了离子密度、电子密度和电子温度(EED)在两种磁场组态中的分布规律。结果表明:磁场不闭合状态时的等离子体密度较低,而完全闭...
关键词：完全闭合状态 不闭合状态 LANGMUIR探针 Cr镀层 离子轰击 
闭合状态对磁控溅射Cr镀层生长过程的影响被引量：4
《人工晶体学报》2009年第4期924-929,共6页栾亚 丁小柯 蒋百灵 鲁媛媛 
国家高技术研究发展计划(863计划)(No.2005AA33H010)
利用非平衡磁控溅射离子镀技术于不同磁场闭合状态下在单晶硅基体上制备出Cr膜,采用扫描电子显微镜和X射线衍射仪观察并分析了不同闭合状态下镀层的微观形貌和晶体择优生长趋势。结果表明:闭合状态显著影响着Cr膜生长过程中的柱状晶取...
关键词：闭合状态 磁控溅射 择优取向 
非平衡度和闭合状态对磁控溅射离子镀过程的影响被引量：4
《材料热处理学报》2009年第2期115-120,共6页蒋百灵 文晓斌 栾亚 丁小柯 李显 
国家高技术研究发展计划(863计划);闭合场非平衡磁控溅射离子镀镀膜装备研制和技术开发(2005AA33H010)
利用非平衡磁控溅射离子镀技术于不同磁控管非平衡度和磁场闭合状态下在单晶硅基体上制备出Cr镀层,采用扫描电子显微镜、X射线衍射仪分析了不同生长阶段Cr镀层的微观形貌、表面粗糙度和晶体择优生长趋势的变化。结果表明:磁控管非平衡...
关键词：磁控管非平衡度 闭合状态 磁控溅射离子镀 粗糙度 择优取向 
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