于民

作品数：8被引量：10H指数：2
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供职机构：北京大学信息科学技术学院微米纳米加工技术国家重点实验室更多>>
发文主题：硅分子动力学离子注入探测器串扰更多>>
发文领域：电子电信理学更多>>
发文期刊：《原子核物理评论》《半导体技术》《北京大学学报（自然科学版）》《核电子学与探测技术》更多>>
所获基金：国家重点基础研究发展计划国家科技重大专项国家自然科学基金中国科学院知识创新工程重要方向项目更多>>
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硅条形探测器条间距优化的模拟研究
《核电子学与探测技术》2014年第8期934-937,925,共5页刘宏智 杨兵 于民 王少南 胡安琪 石宝华 杨昉东 
由于硅条形粒子探测器目前广泛应用于高能物理、物品检测和核医学成像等方面,其形状参数对工作特性的影响也愈发引人关注。采用半导体器件的仿真软件Sentaurus TCAD模拟研究了给定探测条宽度的硅条形探测器相邻探测条的间距变量对探测...
关键词：硅条形探测器 电场强度 漏电流 仿真 
采用Sn中介层的覆Al薄膜硅片键合技术研究被引量：1
《北京大学学报（自然科学版）》2014年第4期741-744,共4页朱智源 于民 胡安琪 王少南 缪旻 陈兢 金玉丰 
国家科技重大专项(2009ZX02038)资助
研究采用Sn作为中间层键合覆盖Al薄膜的硅片。相对于Al-Al直接热压键合,该系统能提供低温、低压、快速的圆片级键合方案。采用直径为100 mm硅片,溅射一层500 nm厚度的Al层后,在N2气氛下进行450°C,30分钟退火,采用Ar等离子体清洗后,溅...
关键词：圆片级键合 低温 低压 剪切强度 
双面硅多条探测器的测试被引量：4
《原子核物理评论》2011年第3期305-309,共5页李占奎 巩伟 谭继廉 魏计房 王柱生 韩励想 田大宇 于民 王金延 张录 
中国科学院知识创新工程重大项目(KJCX3-SYW-No5)~~
介绍了由中国科学院近代物理研究所和北京大学微电子研究院联合研制的双面硅多条探测器的初步测试过程及测试结果。测试内容包括:探测器的电特性、能量分辨率、二维能谱、条间串扰(crosstalk)。在-25 V全耗尽偏压下,各条的反向漏电流均...
关键词：双面硅条探测器 电性能 能量分辨率 条间串扰 
硅DRIE刻蚀工艺模拟研究被引量：4
《中国电子科学研究院学报》2011年第1期28-30,35,共4页朱福运 于民 金玉丰 张海霞 
国家重大专项(2009ZX02038);自然科学基金重点项目(91023045)
随着现代科技的发展,人们对微系统的小型化、高性能、多功能、低功耗和低成本的要求越来越高,基于硅通孔技术技术的三维系统封装技术(3D SiP,three dimensional dystem in packaging)愈发显现出其重要的研究价值。硅通孔技术将集成电路...
关键词：硅通孔技术 深反应离子刻蚀 工艺模拟 
SiGe衬底离子注入模拟研究
《半导体技术》2008年第S1期273-275,279,共4页李强 乔颖 杨杰 于民 王金延 黄如 张兴 
国家自然科学基金(60676022)
运用分子动力学的研究方法,通过对Si1-xGex衬底建立模型,开发出了针对于Ge和Si1-xGex衬底进行低能离子注入模拟的软件。在不同注入能量条件下,把模拟B离子注入到Ge以及Si1-xGex衬底的结果与SIMS数据进行对比,模型和模拟方法得到了验证...
关键词：锗硅 离子注入 分子动力学 模拟 
一种用于剂量效应模拟的新型分子动力学统计噪声改进算法(英文)
《北京大学学报（自然科学版）》2004年第3期407-411,共5页施小康 石浩 于民 黄如 张兴 
国家重点基础研究基金资助项目
提出了一种用于分子动力学 (MD)模拟晶体靶材料中离子注入的加速算法。READE(包含剂量效应的稀有事件算法 )方法可以很好的加速含剂量效应的离子注入的分子动力学模拟。在保证高精度和剂量效应的同时 ,模拟的时间大幅度减小。同时 ,在...
关键词：统计噪声 剂量效应 离子注入 READE 分子动力学模拟 
中、低能离子注入中的剂量效应及模拟方法被引量：1
《Journal of Semiconductors》2004年第3期346-350,共5页施小康 于民 石浩 黄如 张兴 
国家重点基础研究发展规划资助项目 ( No.G2 0 0 0 0 3 65 0 1)~~
在 CMOS工艺超浅结形成过程中 ,中、低能离子注入的剂量效应直接影响杂质浓度的分布和超浅结的形成 .文中基于实验数据对剂量效应对注入离子浓度分布曲线的影响进行了分析 ,这种影响随着注入粒子种类的改变而表现在不同的方面 .同时运...
关键词：离子注入 剂量效应 模拟 分子动力学 
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